加州苗必达。,2011年10月12日今天从KLA-Tencor公司全球领先的半导体及相关行业过程控制和良率管理解决方案供应商(NASDAQ: KLAC)宣布台湾的Epistar是LED芯片的领先制造商，采用了KLA-Tencor的产品烛光®衬底和外延(epi)晶圆检测系统。该订单标志着全球LED设备制造商越来越多地采用这种先进的检测系统，用于生产级产量的晶圆缺陷检测和分类。

将Candela工具引入Epistar的制造过程中，为蓝宝石衬底提供了自动化的检测方法，以确保供应商的质量，并提供了对(GaN) epi工艺的更大的可见性，以帮助检测根本原因缺陷和早期预测工艺偏差。据Epistar发言人表示，“采用KLA-Tencor的Candela检查为Epistar提供了改进的蓝宝石质量控制和MOCVD过程控制。”

众所周知，衬底缺陷会影响外延工艺的成品率，而坎德拉系统对这些成品率限制缺陷提供了更高的灵敏度。凭借其专有的光学设计和检测技术，Candela系统可以检测和分类亚微米缺陷，包括微裂纹和划痕、抛光和刷光条纹以及化学残留物。随着LED制造商向更大晶圆尺寸的生产过渡，并引入新的带图案的蓝宝石衬底(PSS)工艺，由此产生的工艺缺陷的经济影响是显著的。对于外延加工过程中出现的缺陷，Candela工具可以检测到六边形凹坑和凸起，这可能会导致电气故障和外延裂纹，从而对现场可靠性产生不利影响。

“坎德拉系统允许LED制造商进行根本原因分析，以加快工艺开发，快速微调生产工艺，最大限度地减少工艺时间，并最终实现更高的单晶片成本率，”他说杰夫·唐纳利现任KLA-Tencor增长与新兴市场(GEM)集团副总裁。“我们很高兴将Epistar添加到不断增长的Candela采纳者名单中。”

Candela工具现在安装在Epistar的台湾目前，世界各地已经安装了数百种Candela工具。Candela工具是KLA-Tencor集成的一部分领导的投资组合，其中包括国际安全和发展理事会®WI-series和Klarity®领导．这些工具得到了KLA-Tencor全球、全面的支持服务网络。有关KLA-Tencor LED市场产品的更多信息，请访问m.lisalozano.com．

关于KLA-Tencor:

KLA-Tencor Corporation(纳斯达克代码:KLAC)是一家领先的过程控制和良率管理解决方案提供商，与世界各地的客户合作开发最先进的检测和计量技术。这些技术服务于半导体、数据存储、LED、光伏和其他相关的纳米电子行业。凭借行业标准的产品组合和世界级的工程师和科学家团队，该公司为其客户创造了超过30年的卓越解决方案。beplay官网ued总部设在加州苗必达。在美国，KLA-Tencor在全球设有专门的客户运营和服务中心。更多信息可在m.lisalozano.com．(KLAC-P)

前瞻性陈述:

除历史事实外，本新闻稿中的陈述，如关于Candela系统的预期性能、LED制造商对Candela工具的预期使用增长、以及Candela系统用户可实现的预期成本、运营和其他利益的陈述，均为前瞻性陈述。并受1995年《私人证券诉讼改革法案》(Private Securities Litigation Reform Act)创建的“安全港”(Safe Harbor)条款的约束。这些前瞻性声明是基于当前的信息和预期，并涉及一些风险和不确定性。由于各种因素，包括推迟采用新技术(无论是由于成本或性能问题或其他原因)，实际结果可能与这些报表中预测的结果有很大的不同，其他公司引入竞争产品或影响KLA-Tencor产品的实施、性能或使用的意外技术挑战或限制。

源KLA-Tencor公司