加利福尼亚州米尔皮塔斯。，，，，2011年1月20日/美通社/ - 今天，KLA-Tencor Corporation（NASDAQ：KLAC）是全球为半导体和相关行业提供过程控制和收益管理解决方案的供应商，引入了其新的Candela®8620底物和外交（EPI）晶片检查系统。Candela 8620专为高亮度发射二极管（HBLED）制造商而设计，可为LED材料（例如硝酸盐，蓝宝石和碳化硅）提供自动缺陷检查，从而增强了不透明的质量控制和透明的底漆，更快的时间到ROOT，可增强时间到Root的质量控制原因和改进的金属有机化学蒸气沉积（MOCVD）反应器的正常运行时间和产量。

（照片：https://photos.prnewswire.com/prnh/20110120/SF33531）

Candela 8620凭借其专有的光学设计和检测技术，检测并分类了亚微米缺陷，这些缺陷并未通过当前检查方法一致地识别出来，这是首次启用这些产量限制缺陷的生产线监视器。根据行业消息来源，随着HBLED制造商的过渡生产到更大的晶圆尺寸，并引入了新的图案蓝宝石底物（PSS）流程，估计产生的过程引起的缺陷的经济影响每年估计每年损失的产品收入数百万美元，而MOCVD EPI估计有数百万美元过程问题可能导致多达40％的缺陷引起的收益率损失。

“ KLA-Tencor的Candela 8620的表现增强是我们收益率和降低成本工作的重要组成部分，”伊恩黑，Philips Lumileds的制造工程和创新副总裁，这是Candela 8620系统的早期采用者。“当我们过渡到150毫米基板时，该系统一直是加速流程坡道的重要因素，并允许我们选择具有最高质量的蓝宝石供应商。”

底物和EPI过程的缺陷会影响设备性能，产量和现场可靠性。Candela 8620可以检测到：

- 基板缺陷，例如微划痕和微裂缝，这些缺陷可能会产生EPI过程缺陷并直接影响LED的产量和可靠性 - 来自图案化蓝宝石的光刻和蚀刻过程的缺陷来源，例如缺失的凸起和抗性，从而导致EPI缺陷，从而导致EPI缺陷或减少管腔输出 -  MOCVD过程中的宏观和微缺陷，包括六角形凹坑和颠簸导致电衰竭，EPI裂纹可能会对现场可靠性产生不利影响

由于高水平的背景信号和滋扰缺陷，LED底物和外观层提出了重大检查挑战。Candela 8620的成像和检测系统被优化，以增强相关缺陷的信号，同时抑制背景噪声。在其多通道检测光学器件的帮助下，该系统还允许对此类缺陷进行高纯度分类，从而允许对关键MOCVD过程的全面统计过程控制。

“ KLA-Tencor利用半导体流程控制方面的三十年专业知识，使HBLED等新兴市场的客户受益。”杰夫·唐尼（Jeff Donnelly），KLA-Tencor的成长和新兴市场副总裁。“最近，几家HBLED制造商安装了Candela 8620系统，该系统可识别难以检测的缺陷的验证能力使客户能够实现更高的基板质量并最大程度地提高MOCVD投资回报率。”

KLA-Tencor目前在世界各地安装了数百种Candela工具。Candela工具是KLA-Tencor集成的HBLED投资组合的一部分，其中包括ICOS®WI-2220和WI-2250，以及Klarity®LED。Candela工具得到了KLA-Tencor的全球，全面的支持服务网络。有关KLA-Tencor的HBLED市场产品的更多信息，请访问m.lisalozano.com。

关于KLA-Tencor：流程控制和收益管理解决方案的领先提供商KLA-Tencor Corporation与世界各地客户合作开发了最新的检查和计量技术。这些技术为半导体，数据存储，LED，光伏和其他相关的纳米电子工业提供服务。该公司拥有由行业标准产品组成的产品组合以及一支由世界一流的工程师和科学家组成的团队，为其客户创建了超过30年的出色解决方案。beplay官网ued总部位于加利福尼亚州米尔皮塔斯。，KLA-Tencor在世界各地都有专门的客户运营和服务中心。可以在m.lisalozano.com。（KLAC-P）

前瞻性语句：

本新闻稿中的陈述除了历史事实之外，例如有关Candela 8620的预期性能，固态照明的未来发展和趋势的陈述以及发出二极管行业的高光泽光（以及与之相关的预期挑战和成本），百分比估计由MOCVD EPI流程问题估计，KLA-Tencor的客户对Candela 8620的预期用途以及预期的成本，运营和其他福利，可通过前瞻性的前瞻性实现的预期成本，运营和其他收益，这是由MOCVD EPI流程问题，坎德拉8620的预期用途，估计由MOCVD EPI流程问题造成的总体缺陷诱导的损失，这是估计的总体缺陷诱导的损失。声明，并受1995年《私人证券诉讼改革法》制定的安全港规定。这些前瞻性陈述基于当前的信息和期望，并涉及许多风险和不确定性。由于各种因素，包括采用新技术的延迟（无论是由于成本或绩效问题，还是其他公司），其他公司的引入或其他公司的替代技术以及意想不到的，实际结果可能与此类陈述中预测的结果有实质性差异。影响KLA-Tencor产品的实施，性能或使用的技术挑战或局限性。

来源KLA-Tencor Corporation