KLA-Tencor启动Klarity®LED缺陷分析系统和ICOS®WI-2220 LED WAFER检查员,以帮助制造商降低成本

KLA-Tencor引入了广泛的过程控制解决方案组合,旨在提高LED设备Fabs的生产率

- 新的Klarity LED提供自动缺陷分析,以提高LED产量和快速的结果时间

- 新的ICO WI-2220提供低廉的所有权,以支持每个管腔目标的LED行业成本

加利福尼亚州米尔皮塔斯。,,,,2011年1月20日/美通社/ - 今天,KLA-Tencor Corporation(NASDAQ:KLAC),全球领先的过程控制和收益管理解决方案及相关行业的供应商介绍了Klarity®LED - 一种自动分析和缺陷数据管理系统,用于照明发射二极管(LED)的产量增强 - 以及增强功能 -新的,可扩展的ICOS®WI-2220-一种专门用于LED缺陷检查的晶圆检查工具,可帮助LED设备制造商降低其生产成本,同时提高LED设备可靠性。

“该行业目前的共识估计指出,到2013年,LED市场将以25%或更高的复利年增长率增长。”杰夫·唐尼(Jeff Donnelly),KLA-Tencor的成长和新兴市场副总裁。“今天的LED设备制造商以较低的成本挑战性能提高,同时支持行业的积极增长率。具有可靠的可靠性和易用性,KLA-Tencor的LED缺陷检查和分析解决方案的全面投资旨在使更紧密LED产量的过程控制和总体产量以每流管成本降低。”

Klarity LED:LED产量增强的缺陷分析和数据管理系统

基于用于集成电路制造的行业领先的Klarity缺陷产品,新的Klarity LED为LED设备制造商提供了高性能解决方案,包括整个Fabwide制造过程的自动化内扫描分析。LED行业正在从传统的以工具为中心的手动缺陷检查中发展出来,仅在末期阶段进行自动光学检查,转而采用复杂的FABWIDE流程控制和在线检查中的缺陷分析。由于前端到后端连通性,Klarity LED比流行的行业方法提供更快的游览检测和根本原因分析,以实现有效的决策,从而有助于降低材料风险的影响并提高收益率。借助Klarity LED,KLA-Tencor向LED设备制造商介绍了一种先进的在线替代解决方案,用于对LED生产过程的自动缺陷分析,以及在组织中更有效地共享性能和可靠性数据的选项,以更快地学习,同时更换现有的现有。劳动密集型手动报告生成方法。

旨在帮助LED设备制造商加速收益率学习周期并立即立即采取纠正措施,Klarity LED包括:

- 自动分析(智能统计过程控制旅行和基线监控) - 支持基于自动化知识的报告,广泛的钻孔能力和实践决策流量分析的更快的时间校正动作,以前需要专家干预和高级解释 -缺陷来源分析 - 自动对缺陷来源的根本原因分析的过程,为常见和加法缺陷提供灵活的图形分析 - 专有的空间签名分析 - 识别空间签名,跟踪动态签名计数和利用堆栈质量签名,以确定更快的根本原因检测和纠正措施 - 缺陷图像审查 - 提供晶圆地图点和单击访问以及图像库,允许设备制造商验证分类和缺陷过渡通用性识别并迅速生成自动化报告 - 重复缺陷检测 - 识别重复缺陷。跨个人R,以及从晶圆到晶圆

Klarity LED补充了KLA-Tencor的晶圆检查系统(包括新的ICOS WI-2220),以提供增强的LED特定投资组合解决方案,用于高关键LED检查投资的高回报。

ICO WI-2220:可扩展缺陷检查和LED流程控制中所有权的提高

ICOS WI-2220的自动化光学检查功能有助于LED设备制造商实现了增加的收率和降低的生产成本。借助ICOS WI-2220,设备制造商可以自动检查较小的模具尺寸,以抑制手动检查,并且对于需要快速纠正措施以限制昂贵的材料风险的较大尺寸。新系统允许对整体和切丁的晶片进行缺陷,最多可达200​​mm,并在LED晶片的前折前和折后检查(即前端和后端)中进行宏观检查敏感性。

与当今市场上的类似产品相比,ICOS WI-2220对关键缺陷提供了敏感性(虽然最小化流程变化引入的噪声),并以高检查速度提供了出色的和Underkill的性能(DIE错误分类)。新系统还提供了低图像失真,高级光学滤波,基于规则的固定装置(RBB),用于实时自动缺陷分类,以及由于新的专有检查和数据处理技术而高度检查吞吐量的高级计量功能。通过收益率改善,偏移控制以及改善外向质量控制检查的处理,这使制造过程中的收率提高了。

ICOS WI-2220与Candela结合使用,LED不公平的晶圆检查系统,为线端的前端提供全面的,提高屈服的检查覆盖范围,包括分析处置,减少缺陷和偏移控制。此外,ICOS WI-2220可以升级到ICO WI-2250用于灵活配置。

KLA-Tencor的ICOS Wi系列晶圆晶片检查员,新的Klarity LED LED收益管理系统和Candela Systems的集成LED投资组合将在2011年LED韩国展示,并与Semicon Yourctions与Semicon Younctions举行,与Semicon of to and Houncients一起举行。2011年1月26日至28日在Coex大会和展览中心汉城。所有工具均由KLA-Tencor的全球全面服务网络提供支持。有关更多信息,请访问m.lisalozano.com

关于KLA-Tencor:流程控制和收益管理解决方案的领先提供商KLA-Tencor Corporation与世界各地客户合作开发了最新的检查和计量技术。这些技术为半导体,数据存储,LED,光伏和其他相关的纳米电子工业提供服务。该公司拥有由行业标准产品组成的产品组合以及一支由世界一流的工程师和科学家组成的团队,为其客户创建了超过30年的出色解决方案。beplay官网ued总部位于加利福尼亚州米尔皮塔斯,KLA-Tencor在世界各地都有专门的客户运营和服务中心。可以在m.lisalozano.com。(KLAC-P)

前瞻性语句:

本新闻稿中的陈述除了历史事实之外,例如有关Klarity LED的预期性能,ICOS WI-2220和Candela Systems的陈述;未来的发展和趋势(包括预计的增长率以及流程控制和缺陷分析技术的变化)在发出二极管行业的高光度(以及与之相关的预期挑战和成本)中;KLA-Tencor的客户的Klarity LED,ICOS WI-2220和Candela Systems的预期用途;Klarity LED的用户,ICOS WI-2220和Candela Systems的预期成本,运营和其他收益是前瞻性的陈述,并且受1995年《私人证券诉讼改革法案》制定的安全港规定的约束。这些前瞻性陈述基于当前的信息和期望,涉及许多风险和不确定性。由于各种因素,包括采用新技术的延迟(无论是由于成本或绩效问题,还是其他公司),其他公司的引入或其他公司的替代技术以及意想不到的,实际结果可能与此类陈述中预测的结果有实质性差异。影响KLA-Tencor产品的实施,性能或使用的技术挑战或局限性。

来源KLA-Tencor Corporation