加州苗必达。，8月30日/PRNewswire/—全球领先的半导体及相关行业过程控制和产量管理解决方案供应商KLA-Tencor公司(纳斯达克代码:KLAC)今天宣布了其行业领先的VisEdge系列产品的最新产品:VisEdge cv300r00r - ep边缘计量和检测工具。VisEdge CV300R-EP引入了两种边缘测量功能，旨在帮助晶圆厂识别晶圆边缘轮廓形状或沉积在晶圆上的薄膜边缘的潜在影响产率的不规则性。这些新的测量功能增加了当前VisEdge系统的边缘缺陷检查和评审能力，使VisEdge cv300r004成为帮助晶圆厂改善与晶圆边缘相关的成品率问题的综合工具。

半导体工厂的打印模具尽可能靠近晶圆边缘，以最大限度地增加每个晶圆的器件数量。然而，靠近晶圆边缘的晶片通常表现出最低的成品率。为了解决边缘生成的问题，晶圆厂需要控制每个薄膜的边缘在哪里——在晶圆片的平面前表面或通过平面进入倾斜的斜面——并且在器件加工过程中匹配每个薄膜的周长与之前和之后沉积的薄膜的周长。VisEdge CV300R-EP提供了对晶圆边缘轮廓的校准测量，包括薄膜边缘可能降落的斜面的坡度。此外，VisEdge CV300R-EP是第一个将来自图案边缘模切(包括部分模切)的数据整合到薄膜边缘及其与晶圆本身或相邻薄膜的同心度过程中的系统。其他的解决方案忽略来自图案区域的数据，这种方法可能导致薄膜边缘追踪的不太准确。

“监测薄膜同心度是至关重要的，因为重叠的薄膜边缘可能会导致薄膜分层，增加边缘缺陷，并最终导致产量损失，”他说雷莫Kirsch他是GLOBALFOUNDRIES公司无污染制造经理。位于德累斯顿的Fab1，德国．“KLA-Tencor的VisEdge工具具有独特的能力，可以通过靠近晶圆边缘的有图案和无图案区域跟踪铜薄膜边缘的位置，使我们能够确定铜薄膜相对于晶圆中心的同心度。我们已经使用VisEdge系统实施了日常监控策略，以确定铜互连层的工艺室。”

“边缘轮廓监测是VisEdge平台的另一个新兴应用。Oreste Donzella她是KLA-Tencor公司SWIFT部门的副总裁兼总经理。“我们发现，斜角和其他边缘轮廓参数值可以在不同的晶圆供应商之间有很大的差异。例如，斜角的变化会影响薄膜在外围的结构，进而影响薄膜的完整性和最终的晶圆产量。VisEdge CV300R-EP能够识别边缘轮廓不满足工艺要求的晶片。”

新的算法和新的边缘轮廓模型VisEdge CV300R-EP检验和计量系统使以下能力:

-在晶圆的近边缘和顶部斜角区域同时进行边缘缺陷检查和多层边缘测量-现在包括图案区域，以提供更大的覆盖范围和更准确的薄膜边缘确定-在近边缘、顶部和底部斜角的多通道(镜面、散射、相位)缺陷成像和包装，和晶圆的顶点区域-板载高分辨率审查显微镜-校准所有16个半标准参数的边缘轮廓测量，为裸晶圆进厂质量控制-边缘轮廓反馈到计量算法，精确测量斜面上的薄膜堆叠高度(z-cut)——与之前公布的型号相比，提高了低对比度薄膜的性能，并能够检测介质薄膜的埋边——旋转光学头，消除“盲点”和“拼接”误差

KLA-Tencor公司的VisEdge CV300R- ep晶圆边缘检测与计量系统可以作为新系统购买，也可以作为VisEdge CV300R的现场升级版本。为了保持高性能和高生产率，KLA-Tencor公司支持VisEdge CV300R-EP工具的全球综合服务网络。欲了解更多关于科拉-腾科晶圆边缘测量/检测系统的信息，请访问产品网页://m.lisalozano.com/front-end-defect-inspection/visedge-family.html．

关于KLA-Tencor:

天科集团(NASDAQ: KLAC)是一家领先的过程控制和良率管理解决方案提供商，与全球客户合作开发最先进的检测和计量技术。这些技术服务于半导体、数据存储、LED、光伏和其他相关的纳米电子行业。凭借行业标准产品组合和世界级工程师和科学家团队，30多年来，该公司为客户创造了卓越的解决方案。beplay官网ued总部设在加利福尼亚州的苗必达在全球范围内，KLA-Tencor拥有专门的客户运营和服务中心。其他资料可于m.lisalozano.com．(KLAC-P)

前瞻性陈述:

本新闻稿中除了历史事实之外的声明，例如关于VisEdge VC300R-EP的预期性能、半导体行业的趋势(以及与之相关的预期挑战)、kl - tencor客户对VisEdge VC300R-EP的预期使用以及预期成本的声明，VisEdge VC300R-EP工具的用户可实现的操作和其他利益，是前瞻性声明，并受1995年私人证券诉讼改革法案创建的安全港条款的约束。这些前瞻性陈述是基于当前的信息和预期，并涉及一些风险和不确定性。由于各种因素，包括采用新技术的延迟(无论是由于成本或性能问题或其他原因)，实际结果可能与这些报表中预测的结果有重大差异，其他公司引入竞争产品，或影响KLA-Tencor产品的实施、性能或使用的未预料到的技术挑战或限制。

源KLA-Tencor公司