加州苗必达。，7月12日今日，全球领先的半导体及相关行业过程控制和良率管理解决方案供应商KLA-Tencor Corporation®(Nasdaq: kla)推出了TeraFab™HT分线检测仪和eDR™-5210S晶圆缺陷检查工具。这些新工具旨在通过早期检测网线缺陷，并在发现网线缺陷后快速、准确地定位晶圆，解决尖端半导体铸造厂和其他先进芯片制造设备中网线污染加速的问题。

在器件制造过程中，网线上的污染的存在可能是灾难性的，因为网线上的一个缺陷可能会在从该网线打印的每个晶圆上的每个模具上产生一个缺陷。一般来说，最经济有效的控制策略是在分划上的污染足够大到导致晶圆上的缺陷之前检测它。当检测到污染时，分划板被送去清洗和重新确认，同时检查最近印刷的晶圆是否有缺陷。

KLA-Tencor首席工程师兼十字网线检测和电子束技术部门集团副总裁Zain Saidin表示:“我们的领先客户在十字网线污染控制方面面临两大挑战。“首先，晶圆厂每一代设备都需要更高的划线缺陷检测灵敏度:线宽缩小，划线缺陷打印越小，晶圆上的缺陷越小，就会影响成品率。第二,过程审核reticle-induced缺陷晶片需要更快,所以数量统计代表的死可以检查和死与reticle-induced缺陷的数量可以确定出货极端时间压力下依然领先的工厂。不必要地废弃晶圆的成本很高——或者更糟的是，将它们带着未被发现的缺陷转移到下一个工序。我们的TeraFabHT和eDR-5210S系统就是为了解决这些关键问题而设计的。”

的TeraFabHT十字线检测系统的特点是对上一代TeraFab的激光、传感器、光路和信号处理算法的改进，包括KLA-Tencor的专利STARlight™模式，启用以下功能:

—与上一代TeraFab和SLQ十字形缺陷检测系统相比，提高了检测灵敏度和产量采用新型材料(如玻璃上不透明的MoSi [OMOG])的前沿掩模类型，以及采用异常小的光学接近校正(OPC)特性的设计——多达三种灵敏度和通量设置，促进了在各种设备节点上对关键和非关键掩模的低成本检测

的edr - 5210电子束晶圆缺陷检测系统具有高分辨率、无与伦比的舞台精度、新的算法和与TeraFabHT的独特连接性，实现以下功能:

-创新的十字线缺陷评审(RDR)模式，十字线到晶圆坐标的无缝转换，允许显著简化，加速评估潜在的网状诱导缺陷位点——描述跨晶圆的网状诱导缺陷的打印变异性——使用TeraFabHT关于掩模方向和缺陷特性的专有数据增强了晶圆错位的加速和准确性

KLA-Tencor公司的TeraFabHT十字检测系统和eDR-5210S晶圆缺陷检测工具可以作为新系统购买，也可以作为上一代检测和检测工具的现场升级。这两种工具都与KLA-Tencor行业领先的28xx宽带晶圆检测系统和Klarity®缺陷数据管理和分析系统兼容，能够对晶圆厂的网线起源缺陷进行彻底监控，并有效跟踪整个晶圆厂的网线缺陷历史。为了保持高性能和生产率，TeraFabHT和eDR-5210S工具得到了KLA-Tencor全球综合服务网络的支持，而eDR-5210S工具还得到了KlearPoint™客户端-服务器实时工具监控系统的进一步支持。有关KLA-Tencor的十字形管理解决方案或组合中的单个工具的更多信息，请访问产品网页://m.lisalozano.com/front-end-defect-inspection/terafab-series.html和//m.lisalozano.com/defect-review/edr-52xx-series.html．

关于KLA-Tencor:

KLA-Tencor Corporation(纳斯达克代码:KLAC)是一家领先的过程控制和产量管理解决方案提供商，与世界各地的客户合作开发最先进的检测和计量技术。这些技术服务于半导体、数据存储、LED、光伏和其他相关的纳米电子行业。凭借行业标准的产品组合和世界级的工程师和科学家团队，30多年来，公司为客户创造了卓越的解决方案。beplay官网ued总部设在加利福尼亚州的苗必达在美国，KLA-Tencor在全球设有专门的客户运营和服务中心。更多信息可在m.lisalozano.com．(KLAC-P)

前瞻性陈述:

本新闻稿中除了历史事实之外的陈述，如关于TeraFabHT和eDR-5210S的预期性能、半导体行业的未来发展和趋势(以及与之相关的预期挑战)的陈述，KLA-Tencor客户对TeraFabHT和eDR-5210S的预期使用，TeraFabHT和eDR-5210S工具的用户可实现的预期成本、运营和其他利益是前瞻性的陈述，并受1995年《私人证券诉讼改革法案》创建的安全港条款的约束。这些前瞻性声明是基于当前的信息和预期，并涉及一些风险和不确定性。由于各种因素，包括推迟采用新技术(无论是由于成本或性能问题或其他原因)，实际结果可能与这些报表中预测的结果有很大的不同，其他公司引入竞争产品或影响KLA-Tencor产品的实施、性能或使用的意外技术挑战或限制。

源KLA-Tencor公司