加州苗必达。，3月30日/PRNewswire-FirstCall/——今天，KLA-Tencor Corporation(纳斯达克:全球领先的半导体及相关行业过程控制和产量管理解决方案供应商kla)近日宣布，韩国公司首尔光电设备有限公司(Seoul Optodevice company, Ltd.)成为最新一家采用KLA-Tencor公司Candela CS20平台的发光二极管(LED)设备制造商。beplay官网ued此次重大销售标志着金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺缺陷检测的重要性日益增长，并加强了KLA-Tencor对LED检测的持续关注。

外延和基板工艺的缺陷会影响成品率和现场可靠性。关键的外延缺陷包括:凹坑、裂纹、地形异常和表面不均匀性，而基板缺陷可能包括:颗粒、划痕和污渍。KLA-Tencor公司的Candela CS20系统是专为检测透明材料氮化镓和蓝宝石而设计的，同时可以检测表面反射率、地形、散射和相位特征。这种自动检测系统，具有实时分类，为有效的过程控制提供了可操作的数据。

在评价该工具的性能时，Seoul Optodevice表示:“来自Candela CS20的检测结果将使我们能够优化epi工艺并提高生产率。采用这种先进的过程控制策略，将通过改善产品质量和持续的性能，提高我们的客户的价值。这些好处与我们在这个迅速崛起的市场保持领导地位的目标直接一致。”

杰夫·唐纳利KLA-Tencor增长和新兴市场部门的集团副总裁表示，“LED市场的年增长率预计将超过35%。我们正在对专门满足LED制造需求的产品进行重大投资。此次投资，再加上我们在过程控制解决方案方面的丰富经验，使我们能够迅速将优质产品推向市场，以解决行业的成本和技术路线图问题。”

坎德拉CS20目前安装在世界各地的多个晶圆厂。有关KLA-Tencor LED产品的更多信息，请访问m.lisalozano.com．

关于KLA-Tencor:

KLA-Tencor Corporation(纳斯达克代码:KLAC)是一家领先的过程控制和良率管理解决方案提供商，与世界各地的客户合作开发最先进的检测和计量技术。这些技术服务于半导体、数据存储、化合物半导体、光伏和其他相关的纳米电子行业。凭借行业标准的产品组合和世界级的工程师和科学家团队，30多年来，公司为客户创造了卓越的解决方案。beplay官网ued总部设在加利福尼亚州的苗必达在美国，KLA-Tencor在全球设有专门的客户运营和服务中心。更多信息可在m.lisalozano.com．(KLAC-P)。

源KLA-Tencor公司