KLA-Tencor推出ico (R) WI-2250晶圆检查器

新产品使更高质量的LED和MEMS产品和提高生产效率

今日，全球领先的半导体及相关行业过程控制和良率管理解决方案供应商KLA-Tencor Corporation (Nasdaq: kla)推出了其晶圆检测产品组合的下一项新产品——ICOS()WI-2250。ICOS WI-2250扩展了KLA-Tencor在发光二极管(LED)和微机电系统(MEMS)细分市场的领先地位，是该行业的一个重大突破——与现有产品相比，提供了检测速度的显著提高。允许制造商过渡到更大的LED和MEMS晶圆尺寸。ICOS WI-2250系统的自动化光学检测能力使LED和MEMS产品的质量更高，产量更高。新系统将允许对高达200mm的整体和切片晶片进行缺陷检测，在高亮度(HB) led和MEMS晶片的切片前和切片后(即前端和后端)检测中具有宏观检测灵敏度。

“新的ICOS WI-2250解决了我们客户的骰子前和后决策需求，帮助他们克服了移除经过探头但仍有可见缺陷的模具的挑战，防止这些缺陷的模具进入昂贵的包装过程。”KLA-Tencor增长和新兴市场(GEM)集团副总裁Jeff Donnelly表示。“此外，ICOS WI-2250的改进的自动实时分类和计量能力，旨在减少操作员重新分类和手工计量测量，同时提高检测精度。这种组合将导致更快的生产周期和改进的过程控制，从而提高生产效率和产量。”

与目前市场上的同类产品相比，ICOS WI-2250对关键的LED和MEMS工艺缺陷提供了更高的检测灵敏度。新系统还提供了先进的基于规则的分块(RBB)，用于实时缺陷分类，先进的计量能力，以及由于新的检测和数据处理技术，可以提高检测速度的更快的检测吞吐量。这种新的解决方案与Candela HBLED无图晶圆检测系统相结合，为生产线前端提供全面的、提高产量的检测覆盖范围，包括分析处理、减少缺陷和偏移控制。

ICOS WI-2250晶圆检测系统已收到多个订单。有关ICOS WI-2250的更多信息，请访问m.lisalozano.com．

关于KLA-Tencor:

KLA-Tencor Corporation(纳斯达克代码:KLAC)是一家领先的过程控制和良率管理解决方案提供商，与世界各地的客户合作开发最先进的检测和计量技术。这些技术服务于半导体、数据存储、化合物半导体、光伏和其他相关的纳米电子行业。凭借行业标准的产品组合和世界级的工程师和科学家团队，30多年来，公司为客户创造了卓越的解决方案。beplay官网uedKLA-Tencor总部位于美国加州米尔皮塔斯，在全球设有专门的客户运营和服务中心。更多信息可在m.lisalozano.com．(KLAC-P)。

前瞻性陈述

在此新闻稿中除了历史事实之外的陈述，如关于ICOS WI-2250的预期性能(包括其以更大吞吐量速度提供更高灵敏度的能力)的陈述，我们的客户可能通过使用ICOS WI-2250实现的好处，LED和MEMS制造商在未来将面临的挑战是前瞻性的陈述，并受1995年《私人证券诉讼改革法案》创建的安全港条款的约束。这些前瞻性声明是基于当前的信息和预期，并涉及一些风险和不确定性。由于各种因素，包括产品设计或制造缺陷、竞争对手产品的引入、行业采用新技术的延迟(无论是由于成本或性能问题或其他原因)，或影响我们产品实施或使用的意外技术挑战或限制。

源KLA-Tencor公司

2009年11月30日上映