KLA-Tencor扩展Aleris(TM)电影计量家族两个新系统

加利福尼亚州圣何塞 - （商业资讯） -

KLA-Tencor（纳斯达克：KLAC）今天推出了两种胶片计量系统的两种添加剂 - Aleris 8310和Aleris 8350。这些系统利用KLA-Tencor的新一代宽带光谱椭圆测量测量（BBSE（TM））光学器件允许芯片制造商测量多层膜厚度，折射率和应力，满足高级胶片计量要求。

Aleris 8310和8350加入了2007年12月宣布的Aleris 8500系统，该系统是行业的第一个生产价值系统，以在单个工具中能够在一个工具中实现组成和多层膜厚度计量。Aleris Systems系列为客户提供了一系列特定于应用的专用系统配置，可根据其确切的技术要求和经济条件进行选择。

“新的Aleris产品系列现在提供芯片制造商成为KLA-Tencor的副总裁Ahmad Khan（Kla-Tencor）副总裁Ahmad Khan涵盖了一套高度可配置的高级电影计量工具和未来节点开发。”电影和散射测定技术部门。“通过对这一独特的技术组合进行标准化，我们的客户可以超出其混合无与伦比的和层专用的计量工具，以满足45nm及以后的Fab-宽性能和拥有成本（COO）要求的灵活性。“

Aleris Portfolio Aleris投资组合在公司的行业领先的Spectrafx 200技术上建立了不beplay官网ued同的型号，针对不同的FAB应用。高度可配置和模块化的Aleris设计可以通过升级可升级能力，对未来节点进行测量容量，采样和扩展的灵活性。Aleris Systems的新BBSE技术提供较低的光谱失真，更高的信噪比和更高的光子通量，导致比前几代显着提高匹配，精度和吞吐量。由于改进的硬件组件以及前沿软件架构和数据库，Aleris平台还提供了更高的一代的可靠性。2007年12月推出的Aleris 8500，拥有独特的150nm BBSE技术，该技术使行业的第一个生产产品晶圆监测闸门组成和厚度在一个工具上。Aleris 8350是繁殖的先进胶片厚度和折射率计量工具中最好的，使客户能够满足更严格的工艺公差。8350涵盖最广泛的45nm应用范围，包括扩散，CVD，蚀刻等区域。最新的BBSE技术可提供高达2倍的厚度精度和4倍，而不是其前身，因为提高了光谱保真度，光学灵敏度和稳定性。该系统的测量盒大小的20％降低还允许在较小的杂交中进行测量。新的应力传播技术使得能够对BEOL中的临界胶片进行完整的晶片应力均匀性监测，例如超低k电介质，以及FEOL中的高应力衬里，比前一代工具更高的灵敏度和吞吐量。 The Aleris 8310 is a cost-effective and reliable production solution for simple, thick film applications, with industry leading throughput. The Aleris family's modular design allows extendibility to meet the growing needs of customers through multiple device nodes. Increased throughput of 30% (SE) to 60% (Reflectometer), compared to the previous generation, provides for lower operating cost. High throughput allows for high sampling rates, which are especially critical for SOI substrate manufacturers who are required to do 100% sampling to meet their customer's tight requirements.

可以在许多FAB应用中共享匹配的Aleris Metolology工具集，从而提高容量灵活性和利用率，同时显着降低了所有权的计量成本。Aleris家族还利用公共配方，培训，软件和备件来提高Fab斜坡和效率。

Aleris系统已交付给全球所有芯片领域(内存、逻辑和代工)的关键客户，用于生产和高级开发。

关于KLA-Tencor：KLA-Tencor是半导体制造和相关行业的产量管理和过程控制解决方案的全球领导者。该公司总部位于加利福尼亚州圣何塞，世界各地拥有销售和服务办公室。beplay官网uedKLA-Tencor在beplay官网ued符号KLAC下的纳斯达克全球选择市场上交易。有关该公司的其他信息可供选择beplay官网ued//m.lisalozano.com.．

资料来源：KLA-Tencor，Inc。

2008年1月29日上映