加利福尼亚州米尔皮塔斯，2019年7月8日/美通社/——今天beplay体育下载2(纳斯达克代码:KLAC)发布了392x和295x光学缺陷检测系统以及eDR7380™电子束缺陷检测系统。新的检测系统是该公司旗舰芯片芯片平台的扩展，在光学检测的速度和灵敏度方面取得了进步。beplay官网ued新的电子束检查系统引入了创新，巩固了其价值，作为缺陷和源之间的基本联系。该产品组合旨在加速领先的3D NAND、DRAM和逻辑集成电路(ic)在其产品生命周期内的上市时间。

KLA全球产品集团执行副总裁艾哈迈德·汗说:“要想生产有利可图的下一代存储和逻辑芯片，需要前所未有的过程控制。”“设备结构更小、更窄、更高、更深，具有更复杂的形状和新材料。从良性的物理变化(信号和噪声)中区分缺陷已经成为一个难以置信的困难问题。我很高兴地宣布，我们的光学和电子束工程团队已经开发了一系列创新的、连接的缺陷检测和审查系统，旨在使我们的行业继续向前发展。”

的392x和295x光学图形晶圆缺陷检测系统通过利用宽带等离子体照明技术，传感器架构和芯片设计信息集成来实现无与伦比的灵敏度，吞吐量和产量相关的融合水平。因此，新系统提供更快的缺陷发现，加速产量学习，比其行业领先的前辈更全面的内联监控。392X和295x系统使用不同的波长范围来覆盖所有层的检测应用，从浅沟槽隔离通过金属化，包括EUV光刻质量控制。

具有级别的图像质量和在一次测试中提供完整的缺陷帕累托的独特能力，EDR7380.电子束晶圆缺陷审查系统在开发过程中提供更快的缺陷来源，更快的偏移检测，以及生产过程中更准确、可操作的数据。该系统用于支持易碎EUV光刻工艺层的审查。与KLA检验员的独特连接缩短了检测结果的时间，能够访问广泛的KLA特定应用程序，并通过智能采样和有效的缺陷数据交换提高了检测灵敏度。

392x、295x和eDR7380系统可作为新系统或上一代39xx、29xx或eDR7xxx系统的升级。这些系统设计用于未来的可扩展性，以保护晶圆厂的资本投资。

所有新系统都在全球领先的IC制造商运营，在那里他们共同努力，使创新的电子设备制造生产。为了保持芯片制造商所需的高性能和生产力，392倍，295倍和EDR7380系统被支持KLA的全球综合服务网络．关于新的缺陷检查和评审系统的更多信息可以在组合信息页面．

eDR®是KLA Corporation的注册商标。beplay体育下载2

关于心理契约:
KLA- tencor公司(又名“KLA公司”或“KLA”beplay体育下载2)开发行业领先的设备和服务，推动整个电子行业的创新。我们提供先进的过程控制和过程实现解决方案，用于制造晶圆、晶圆、集成电路、封装、印刷电路板和平板显示器。通过与全球领先客户的密切合作，我们的物理学家、工程师、数据科学家和问题解决专家团队设计的解决方案推动世界向前发展。更多信息可在https://www.kla.com/(KLAC-P)。

前瞻性陈述:
除历史事实外，本新闻稿中的声明，如295x、392x和eDR7380系统的预期性能，以及减少晶圆、设备、材料和芯片制造设施缺陷的经济影响，均为前瞻性声明。并受1995年《私人证券诉讼改革法案》(Private Securities Litigation Reform Act)创建的“安全港”(Safe Harbor)条款的约束。这些前瞻性陈述基于当前的信息和预期，并涉及风险和不确定性。由于各种因素，包括推迟采用新技术(无论是由于成本或性能问题或其他原因)，实际结果可能与这些报表中预测的结果有很大的不同，其他公司引入竞争产品，或影响KLA产品实施、性能或使用的意料之外的技术挑战或限制。

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