宣布Kronos™1080和ICOS™F160检测系统:扩展KLA-Tencor的IC封装组合
2018年8月30日,加利福尼亚州米尔皮塔斯/美通社/——今天KLA-Tencor公司(纳斯达克代码:KLAC)宣布了两种新的缺陷检测产品,旨在解决各种各样的集成电路(IC)封装挑战。的二氧化钛™1080该系统为先进的封装提供了具有生产价值的、高灵敏度的晶圆检测,为过程控制和材料配置提供了关键信息。的国际安全和发展理事会™F160该系统在晶圆切丁后对封装进行检测,基于检测关键缺陷类型(包括影响高端封装成品率的一种新型缺陷类型——侧壁裂纹),快速、准确地排列模具。这两种新的检测系统加入了KLA-Tencor的缺陷检测、计量和数据分析系统,有助于加速包装产量和提高模具分类精度。
标志- - - - - -https://photos.prnewswire.com/prnh/20140123/SF50413LOGO
KLA-Tencor高级副总裁兼首席营销官Oreste Donzella表示:“随着芯片规模的放缓,芯片封装技术的进步已经成为驱动设备性能的工具。“封装芯片需要同时实现各种设备应用的设备性能、功耗、形状因素和成本等目标。因此,包装设计变得更加多样化和复杂,具有一系列的2D和3D结构,包装更密集,尺寸每一代都在缩小。与此同时,封装芯片的价值大幅增长,电子产品制造商对质量和可靠性的期望也随之提高。为了满足这些期望,封装制造商,无论是在芯片制造工厂的后端,还是外包的组装和测试(OSAT)设施,都要求更灵敏、更经济有效的检测、计量和数据分析,以及更准确地识别坏的部件。我们的工程团队开发了新的Kronos 1080和ICOS F160系统,以满足电子行业不断增长的需求,为各种各样的包装类型提供值得生产的缺陷检测。”
的1080年科隆诺斯该系统旨在检查先进的晶圆级包装工艺步骤,为在线过程控制提供关于缺陷类型的全范围信息。先进的包装技术必然包括越来越小的功能、更高密度的金属图案和多层再分配层——所有这些都有越来越多的检测要求,需要创新的解决方案。Kronos系统通过多模光学和传感器以及先进的缺陷检测算法实现了行业领先的性能。Kronos系统还引入了FlexPoint™,这是一种先进的技术,源自KLA-Tencor领先的IC芯片制造检测解决方案。FlexPoint将检测系统集中在模具的关键区域,在那里缺陷会产生最大的影响。灵活的晶圆处理使高翘曲晶圆的检测成为可能,这种封装类型通常被称为扇出晶圆级封装,这是一种已建立的移动应用类型,也是一种新兴的网络和高性能计算技术。
晶圆级封装经过测试和切片后国际安全和发展理事会F160进行检查和模具分类。高端封装制造商,如那些用于移动应用程序的制造商,将受益于检测激光槽、发际线和侧壁裂纹的新能力。这些裂纹的产生是由于材料的变化,用于隔离密集的片上金属布线,以提高速度和降低功耗。这种新材料易碎,因此在晶圆切割过程中容易出现裂纹。侧壁裂纹是出了名的难以检测,因为它们垂直于模具顶部,用传统的视觉检测是无法检测到的。ICOS F160系统的另一个主要优势,有利于许多封装类型,是它的灵活性:输入和输出模式可以是晶片,托盘或磁带。系统可以很容易地从一种配置更改为另一种配置。它的自动校准和精密取模方便了在大批量制造环境中增加工具的使用。
的1080年科隆诺斯和国际安全和发展理事会F160该系统是KLA-Tencor封装解决方案组合的一部分,旨在解决各种IC封装类型的检测、计量、数据分析和模具分类需求。本作品集包括CIRCL™- ap全表面晶圆检测系统,Zeta-580/680用于晶圆片和面板的3D计量系统,ICOS™T890,T3和T7系列部件检验和计量系统,以及Klarity®数据分析系统。关于这两个新的缺陷检测系统和KLA-Tencor的完整包装解决方案组合的更多信息,请参见包装作品集网页.
关于KLA-Tencor:
KLA-Tencor Corporation是一家领先的过程控制和良率管理解决方案提供商,与世界各地的客户合作开发最先进的检测和计量技术。这些技术服务于半导体和其他相关的纳米电子工业。凭借行业标准的产品组合和世界级的工程师和科学家团队,该公司为客户创造了超过40年的卓越解决方案。beplay官网ued总部位于加州米尔皮塔斯的KLA-Tencor在全球设有专门的客户运营和服务中心。更多信息可在m.lisalozano.com(KLAC-P)。
前瞻性陈述:
除了历史事实之外,本新闻稿中的声明,如关于Kronos 1080和ICOS F160系统的预期性能的声明,以及在包装制造设施中减少缺陷和模具分类精度方面的改进的经济效果的声明,都是前瞻性声明。并受1995年《私人证券诉讼改革法案》(Private Securities Litigation Reform Act)创建的“安全港”(Safe Harbor)条款的约束。这些前瞻性声明是基于当前的信息和预期,并涉及一些风险和不确定性。由于各种因素,包括推迟采用新技术(无论是由于成本或性能问题或其他原因),实际结果可能与这些报表中预测的结果有很大的不同,其他公司引入竞争产品或影响KLA-Tencor产品的实施、性能或使用的意外技术挑战或限制。
源KLA-Tencor公司
2018年8月30日上映