KLA-Tencor推出五种用于亚7nm IC制造的模式控制系统
源过程控制加速了多图案技术与极紫外光刻技术的集成
加利福尼亚州米尔皮塔斯，2017年9月11日/美通社/——KLA-Tencor公司（纳斯达克：KLAC）今天推出了五种Patterning控制系统，帮助ChipMakers在子7NM逻辑和前沿存储器设计节点处实现了多图案化技术和EUV光刻所需的严格过程公差。在IC Fab中，ATL™（精确可调激光）覆盖计量系统和Spectrafilm™F1薄膜计量系统在制造FinFET，DRAM，3D NAND和其他复杂设备期间的过程和监控偏移。Teron™640E掩模版检查产品线和LMS IPRO7掩模版登记计量系统促进了面具商店的EUV和先进光学掩模的开发和资格。5D分析仪®X1高级数据分析系统是开放式架构方法的基础，支持Fab定制分析和实时过程控制应用程序。这五个新系统扩展了KLA-Tencor的计量计量，检查和数据分析系统，使得能够识别和校正源处的过程变化。
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KLA-Tencor全球产品集团执行副总裁Ahmad Khan表示:“在7nm和5nm设计节点，芯片制造商越来越难以找到产品覆盖误差、关键尺寸不均匀性和热点的具体来源。“我们的客户正在关注扫描器校正之外的问题，以了解所有分划和晶圆加工步骤的变化如何影响图案。通过对全晶圆厂计量和检测数据的开放访问，集成电路工程师可以快速查明并直接管理出现的工艺问题。我们的系统，如今天推出的五套系统，为客户的专家提供了我们最强大的技术，使他们能够降低每个晶圆、网线和工艺步骤的模式误差。”
支持Sub-7nm设计节点设备的图案控制的五个新系统包括：
- 的ATLOverlay计量系统采用独特的可调谐激光技术，分辨率为1nm，在存在工艺变化的情况下，自动保持高精度和鲁棒的覆盖误差测量，支持快速的技术斜坡和生产过程中的精确晶圆配置。
- 的Spectrafilm F1薄膜计量系统采用新的光学技术，高精度地确定单层和多层薄膜的厚度和均匀性，以监测生产过程中的沉积过程，并提供带隙数据，提前预测设备的电气性能。
- 的Teron 640e.十字线检测生产线集成了光学、检测器和算法增强功能，可在高吞吐量下检测关键图案和粒子缺陷，促进了EUV和光学图案网在前沿口罩商店的开发和认证。
- 的LMS IPRO7.掩模版登记计量系统利用新的操作模式，以快速循环时间准确地测量设备内掩模版图案放置误差，从而实现了电子束掩模作者校正的全面掩模版资格，并将掩模版相关的贡献降低了IC Fab中的设备覆盖误差．
- 的5D分析仪X1数据分析系统提供可扩展的开放式架构，可接受来自各种计量和流程工具的数据，以实现对Fab-宽的工艺变化的高级分析，表征和实时控制。
ATL，Spectrafilm F1，Teron 640e，LMS IPRO7和5D分析仪X1是KLA-Tencor唯一的一部分5D模式控制解决方案™该系统还包括图形化晶圆几何测量系统、原位工艺测量系统、关键尺寸和器件轮廓测量系统、光刻和图形化模拟系统以及关键热点发现系统。一些ATL, spectrafilf1和5D分析仪X1系统在全球领先的IC制造商中使用，支持一系列的模式控制应用。通过升级和新工具的发货，Teron 640e和LMS IPRO7扩展了KLA-Tencor在先进口罩商店中网线检测和计量系统的强大安装基础。为了保持IC制造对高性能和生产力的需求，ATL, spectrafilf1, Teron 640e, LMS IPRO7和5D分析仪X1支持KLA-Tencor的全球综合服务网络．有关五个新系统的更多信息可以在找到高级图案化控制网页。
关于Kla-Tencor：
KLA-Tencor Corporation是一个领先的流程控制和产量管理解决方案提供商，与世界各地的客户合作开发最先进的检查和计量技术。这些技术服务于半导体和其他相关纳米电子行业。通过行业标准产品和一支世界级工程师和科学家团队，该公司为其客户创造了40多年的卓越解决方案。beplay官网uedKla-Tencor总部位于加利福尼亚州米尔皮塔斯，拥有全球专门的客户运营和服务中心。可以找到附加信息m.lisalozano.com.（klac-p）。
前瞻性陈述:
此次新闻稿中的陈述除了历史事实之外，例如关于ATL的预期性能的陈述，Spectrafilm F1，Teron 640e，LMS IPro7和5D分析仪X1系统;ATL，SpectraFilm F1，Teron 640e，LMS IPro7和5D分析仪X1系统到未来技术节点的可扩展性;通过KLA-Tencor客户的客户预期使用ATL，Spectrafilm F1，Teron 640E，LMS IPro7和5D分析仪X1系统;ATL，Spectrafilm F1，Teron 640E，LMS IPro7和5D分析仪X1系统的预期成本，运营和其他益处是可实现的，是前瞻性陈述，并受到私人证券诉讼创建的安全港口规定的约束1995年的改革法案。这些前瞻性陈述是基于当前的信息和预期，并涉及许多风险和不确定性。由于各种因素，实际结果可能与在此类陈述中预期的实际结果不同，包括采用新技术的延误（无论是由于成本或绩效问题还是其他方式），其他公司的竞争产品或意外的技术挑战或局限性引入影响KLA-Tencor产品的实施，性能或使用。
源KLA-Tencor公司
2017年9月11日上映