有限的授权书 - 证券法合规性授权书 - 证券法的合规性签署人，担任KLA -Tencor Corporation（“ Corporation”）的官员或董事，特此构成并任命Stuart J. Nichols和John H Kispert，and John H Kispert，以及他们每个人都在签名的真实和合法的事实律师，并执行和执行此类表格144，表格3、4和5以及其他律师的表格，应根据其酌处权要求或根据她的酌处权，要求或根据要求根据要求或建议根据第144条根据1933年的《证券法》（修订），1934年的《证券交易法》第16条（修订）和在其下颁布的规则和法规或任何继任法律法规，由于未签名的所有权，收购或处置公司的证券，并采取所有必要的行为，以便向证券交易委员会，任何证券交易所或国家协会提交此类表格n，公司以及律师的其他人或机构应认为适当。签名的批准并确认了所说的事实上的所有律师，代理人应做或通过此处的优点进行。这种有限的授权书应保持全部效力和效力，直到不再要求未签名的表格向3、4和5提交有关公司签名的持有和公司在公司发行的证券交易的持股和交易，除非此前被签署的人撤销。写信给上述律师事实。从下面规定的日期开始执行此有限的授权书。___ Michael E. Marks签名日期：2003年11月6日证人：Jill Cartagena日期：2003年11月6日