展览23.1
独立注册会计师事务所同意
本公司特此同意在注册声明中引用S-3(第333-150473号)及S-8(第33-26002号、第33-42973号、第33-42975号、第33-88662号、第333-03003号、第333-22939号、第333-22941号、第333-26681号、第333-32537号、第333-45271号、第333-60883号、第333-60887号、第333-68415号、第333-68423号、第333-85121号、我们的报告日期的kl - tencor公司的333-85123号、333-49828号、333-60864号、333-75944号、333-100166号、333-113358号、333-120218号、333-121637号、333-129868号、333-140743号、333-144003号、333-147434号、333-147437号、333-152864号、333-159017号、333-162887号、333-168618号
2012年8月6日,
，有关合并财务报表、财务报表附表和财务报告内部控制的有效性，见本表格10-K。
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/ s /普华永道
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加州圣何塞
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2012年8月6日,
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