展览5.1 [信头] 2000年11月13日KLA-Tencor Corporation 160 Rio Robles San Jose，CA 95134 Re：注册声明S-8女士们，先生们：我已经审查了表格S-8的注册声明2000年11月13日的证券和交易委员会（“注册声明”），与1933年的“证券法”注册有关，如修订，其中一个额外的5,616,391股股份股票保留为签发1982年股票期权计划，如修订（“1982年计划”）和1,500,000股KLA-Tencor普通股，在1997年雇员股票购买计划下保留发行（“1997计划”）。这些普通股股份在此称为“股份”。作为法律顾问，我已经审查了在1982年计划和1997年计划下发布的股份发行，销售和支付股份所采取的诉讼程序，并提出审议。我认为，在遵守适用的招股说明书的情况下签发和销售时，在1982年计划和1997年计划和1997年计划中提到的方式和1982年计划和1997年计划的协议，股票将合法地和beplay官网ued有效签发，全额支付和不可评估。我同意使用这种意见作为注册声明的展览，并进一步同意在注册声明和任何修正案中出现的任何职位。真诚，/ s / stuart J. Nichols ----------------------------- - Stuart J. Nichols副总裁，总法律顾问KLA-Tencor公司