展览23.1独立会计师同意我们特此同意这个注册的公司通过引用声明形式S-8我们的报告日期为7月31日,2002年有关KLA-Tencor公司的财务报表,在KLA-Tencor 10 - k公司的年度报告形式今年截至6月30日,2002年。本公司亦参考本公司于2002年7月31日提交的有关财务报表附表的报告(载于表格10-K的年度报告内)，同意成立为法团。/s/普华永道，加利福尼亚州圣何塞，2002年9月27日