EXHIBIT 5.1 2002年9月27日KLA-Tencor Corporation 160里约热内卢Robles San Jose, CA 95134 RE:表格S-8上的注册声明女士们先生们:我已经检查了表格S-8上的注册声明，将于2002年9月27日或前后提交给证券交易委员会(“注册声明”)，这与根据1933年证券法(经修订)进行的注册有关。根据修订的“重新声明的1982年股票期权计划”(“1982年计划”)预留发行的额外的5,691,826股KLA-Tencor普通股，根据修订和重述的1997年员工股票购买计划(“1997计划”)预留发行的40万股KLA-Tencor普通股和根据修订和重述的2000年非法定股票期权计划(“2000计划”)预留发行的7589,102股KLA-Tencor普通股。此类普通股在本协议中称为“股份”。作为法律顾问，我已审查就根据1982年计划、1997年计划和2000年计划发行的股份的发行、出售和支付对价而进行的诉讼和建议进行的诉讼。这是我的观点,当发行和出售符合适用的招股说明书交付要求和方式指在1982计划、1997计划、2000计划和按照协议陪1982计划、1997计划、2000计划、股票将合法和有效,beplay官网ued已缴足税款，无须评税。本人同意将此意见用作注册声明的证据，并进一步同意在注册声明及其任何修订中出现的任何地方使用本人的姓名。真诚,/ s /斯图亚特·j·尼科尔斯 --------------------------------------- 斯图尔特·j·尼克尔斯副总裁KLA-Tencor总法律顾问公司