展览23.1独立会计师的同意于此同意通过参考文件S-8的注册声明（第33-15784号，第2-71584号，第2-71584号，第2-75314号，No.335314号，No.33-26002号。33-42973,33-42982，美国专利3,3-42975，美国专利3,3-55362，美国专利3,3-88662，美国专利3,33-03003，333-03003号，333-03003号，333-22939号，333-22939号，333-22941号，333-22941号，333-22941号26681，333-32537号333-45271号333-60887号333-60883号333-68423号号333-68415，333-85121号333-85123号和美国第333-4659898号）及在2000年7月24日关于财务报表和财务报表的2000年7月24日的KLA-Tencor Corporation的招股说明书上的部分注册声明（第33-3-52393号）。附表，出现在本年度报告中的表格10-k。PricewaterhouseCoopers LLP San Jose，加利福尼亚州2000年9月27日 - - - - - - - - - - - -