展览23.1

独立注册会计师事务所同意

我们特此同意参考表格S-3(333-150473)和表格S-8(33-26002、33-42973、33-42975、33-88662、333-03003、333-22941、333-26681、333-32537、333-45271、333-60883、333-60887、333-68415、333-68423、333-85121、333-85123、本公司2008年8月7日合并财务报表报表编号:kl - tencor公司333-46598、333-49766、333-49828、333-60864、333-60866、333-75944、333-100166、333-113358、333-120218、333-121637、333-129868、333-140743、333-144003、333-147434、333-147437)财务报表进度表和财务报告内部控制的有效性，见本表格10-K。

/ s /普华永道

加州圣何塞

2008年8月7日,