展览23.1

独立注册会计师事务所同意

我们特此同意参考表格S-3(333-150473)和表格S-8(33-26002、33-42973、33-42975、33-88662、333-03003、333-22941、333-26681、333-32537、333-45271、333-60883、333-60887、333-68415、333-68423、333-85121、333-85123、我司2009年8月6日合并财务报表报告中kal - tencor公司编号:333-49828、333-60864、333-75944、333-100166、333-113358、333-120218、333-121637、333-129868、333-140743、333-144003、333-147434、333-147437、333-152864、333-159017)财务报表进度表和财务报告内部控制的有效性，见本表格10-K。