展览31.1
首席执行官证书
根据外汇法案第13a-14(a)/15d-14(a)条通过
根据2002年萨班斯-奥克斯利法案第302条
我，理查德·p·华莱士，特此证明:
| 1. | 我已经审阅了KLA-Tencor Corporation的10-K表格年度报告; |
| 2. | 根据我所知,这份报告不包含任何不真实的材料声明的事实或省略状态必要材料事实陈述,根据在何种情况下这样的声明,而不是误导对报告所述期间; |
| 3. | 据我所知，本报告中所包含的财务报表和其他财务信息，在所有重大方面公允地反映了注册公司在本报告所述期间的财务状况、经营成果和现金流量; |
| 4. | 注册人的其他认证人员和本人负责为注册人建立和维护披露控制和程序(如《交易法》规则13a-15(e)和15d-15(e)所定义)以及财务报告的内部控制(如《交易法》规则13a-15(f)和15d-15(f)所定义)，并具有: |
| (一) | 设计该等披露控制和程序，或使该等披露控制和程序在本公司的监督下设计，以确保与注册人(包括其合并子公司)有关的重要信息由该等实体内的其他人告知本公司，特别是在编写本报告期间; |
| (b) | 设计财务报告的内部控制，或在我们的监督下设计财务报告的内部控制，按照公认会计原则，对财务报告的可靠性和对外财务报表的编制提供合理保证; |
| (c) | 评估注册人的披露控制和程序的有效性，并在本报告中提出我们关于披露控制和程序的有效性的结论，截至本报告所涵盖的期间结束时，基于此类评估;和 |
| (d) | 在本报告中披露了在注册人最近的财政季度(如属年度报告，则为注册人的第四财政季度)发生的对财务报告的内部控制的任何重大影响或合理可能重大影响的变化。登记人对财务报告的内部控制;和 |
| 5. | 根据我们对财务报告的内部控制的最新评估，注册方的其他认证人员和我已向注册方的审计师和注册方董事会的审计委员会(或履行同等职能的人员)披露: |
| (一) | 在财务报告的内部控制的设计或操作中有合理可能对登记人记录、处理、总结和报告财务信息的能力产生不利影响的所有重大缺陷和重大弱点;和 |
| (b) | 任何舞弊，无论是否重大，涉及管理层或其他在注册方对财务报告的内部控制中扮演重要角色的员工。 |
| 2010年8月5日 | / s / RICHARDp WALLACE |
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| (日期) | 理查德·p·华莱士 | |||
总裁兼首席执行官 (首席执行官) |