展览23.1.
独立注册公共会计师事务所的同意
在此，我们同意通过参考文件S-3（第333-150473号）的注册陈述并表格S-8（第33-26002号，No.33-42973号33-42975号。33-88662，美国专利333-03003，美国专利333-22941，美国专利号333-26681，美国专利号333-32537，美国专利号333-32537，美国专利3,33-45271，美国专利3,33-45271，美国专利号333-60883，美国专利号333-60883，第333-60883号，333-60883号，333-60887号，333-60887号68415,333-68423，美国专利333-85121，美国专利333-85123，美国专利3,33-49828，美国专利号333-60864，美国专利3,33-60864，美国专利3,33-75944，333-75944号，333-75944号，333-75944号，333-100166，No.333-100166，333-10166，333-133358，美国专利333-120218,333-120218，美国专利333-121637，美国专利3,33-129868，美国专利3,3-140743，美国专利3,3-144003，333-144003号，333-147434号，333-147434号，333-147437号，333-147437号，333-147437号，333-147437号，333-147437号，333-147437号，333-152864号。333-159017,333-159017，No.333-162887和我们的报告公司的Kla-Tencor Corporation的333-168618号
2011年8月5日
，与综合财务报表，财务报表进度和内部控制的有效性有关，在此表格10-K中出现的财务报告。
|
|
|
|
/ s / presswaterhousecoopers llp
|
|
|
|
|
|
圣何塞，加利福尼亚州
|
|
|
2011年8月5日
|
|