用于WBG材料的Omega蚀刻
2021年6月15日介绍用于电源和射频器件的宽带隙材料(如SiC或GaN-on-Si)的等离子蚀刻工艺。SPTS提供了用于SiC高速率蚀刻的Synapse处理模块和用于GaN低损伤蚀刻的ICP模块。(1分钟58秒)
介绍用于电源和射频器件的宽带隙材料(如SiC或GaN-on-Si)的等离子蚀刻工艺。SPTS提供了用于SiC高速率蚀刻的Synapse处理模块和用于GaN低损伤蚀刻的ICP模块。(1分钟58秒)
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