Sigma FXP - 电力装置的金属沉积
2021年6月15日谈话海报（带有字幕） - 电力装置的金属层物理气相沉积（PVD）简介。该方法包括晶片的前侧的厚度沉积，其中SPTS的Sigma FXP系统可以用高沉积速率沉积厚膜以提高生产率，但是没有与高速率沉积通常相关的膜缺陷。为了在电力装置晶片的背面沉积金属，需要一堆不同的金属。对于后侧金属沉积，有效的低损坏预清洁和应力控制是至关重要的。（4分钟：37秒）
谈话海报（带有字幕） - 电力装置的金属层物理气相沉积（PVD）简介。该方法包括晶片的前侧的厚度沉积，其中SPTS的Sigma FXP系统可以用高沉积速率沉积厚膜以提高生产率，但是没有与高速率沉积通常相关的膜缺陷。为了在电力装置晶片的背面沉积金属，需要一堆不同的金属。对于后侧金属沉积，有效的低损坏预清洁和应力控制是至关重要的。（4分钟：37秒）
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