用于BAW和PiezoMEMS的Sigma fxP - PVD
2021年6月15日有声海报(与字幕)-介绍物理气相沉积(PVD)的AlN或AlScN的BAW过滤器或压电陶瓷。我们的Sigma®fxP在跨晶片厚度均匀性、薄膜应力控制和消除氮化铝薄膜中的晶体缺陷方面提供了显著的优势。添加钪是为了提高AlN的压电性能，但这使得PVD更具挑战性。这段视频展示了SPTS如何开发独特的技术来成功地沉积高掺杂AlScN薄膜。(4分钟44秒):
有声海报(与字幕)-介绍物理气相沉积(PVD)的AlN或AlScN的BAW过滤器或压电陶瓷。我们的Sigma®fxP在跨晶片厚度均匀性、薄膜应力控制和消除氮化铝薄膜中的晶体缺陷方面提供了显著的优势。添加钪是为了提高AlN的压电性能，但这使得PVD更具挑战性。这段视频展示了SPTS如何开发独特的技术来成功地沉积高掺杂AlScN薄膜。(4分钟44秒):
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