什么是KLA仪器™?
2021年8月13日KLA仪器是KLA内部一个不断增长的表面计量集团，不仅满足半导体晶圆厂的检测和计量需求，而且还为学术界和工业界的研究实验室提供材料测量解决方案。我们的工具组合包括触针和光学轮廓仪，纳米机械测试器，台式电阻工具，薄膜反射计和专门的缺陷检测系统。
KLA仪器是KLA内部一个不断增长的表面计量集团，不仅满足半导体晶圆厂的检测和计量需求，而且还为学术界和工业界的研究实验室提供材料测量解决方案。我们的工具组合包括触针和光学轮廓仪，纳米机械测试器，台式电阻工具，薄膜反射计和专门的缺陷检测系统。
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