天可™ 触针式轮廓仪

天可™ 触针式轮廓仪

KLA仪器™ 阿尔法阶跃®,Tencor P-和HRP®-系列触针式轮廓仪提供高精度二维和三维表面计量,测量台阶高度、表面粗糙度、弯曲和应力,具有业界领先的稳定性和可靠性,可满足您的研发和生产要求。

即将举行的活动

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2021年10月19日太平洋时间上午10:00(美国和加拿大)

通过玻璃测量表面形貌

2021年10月20日太平洋时间上午09:00(美国和加拿大)

薄板电阻测量的光斑尺寸和横向分辨率

2021年11月9日太平洋时间上午10:00(美国和加拿大)

用于多接口的Profilm3D

2021年11月18日太平洋时间上午08:00(美国和加拿大)

使用坎德拉降低通信和传感用GaAs、InP和其他化合物半晶片的缺陷®

太平洋时间2021年12月8日上午09:00(美国和加拿大)

微电子显示涂层纳米划痕的三维形貌测量

阿尔法阶跃®D-600

Alpha Step D-600触控笔轮廓仪为Alpha Step技术添加了一个电动X-Y工作台,实现了2D和3D台阶高度和表面粗糙度测量的自动映射。

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天可™ P-7

Tencor P-7利用了Tencor P-17行业领先的地形传感器和超平面扫描技术,为台式触针轮廓仪提供了性价比最佳的平台。

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天可™ P-17&天可™ 秘书处P-17

行业领先的Tencor P-17是最新一代台式触针轮廓仪,建立在40多年的表面计量经验基础上,为研发和生产环境提供精确的2D和3D台阶高度和表面粗糙度测量。

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阿尔法阶跃®D-500

Alpha Step D-500是一款价格合理、易于使用的台式触针轮廓仪,配有手动X-Y工作台,用于实验室和生产环境中的二维台阶高度和表面粗糙度测量。

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天可™ P-170

Tencor P-170轮廓仪可实现化合物半导体行业的全自动测量,支持盒式到盒式晶圆处理,包括硅、蓝宝石、碳化硅、砷化镓、玻璃等。

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HRP®-260

HRP-260触针轮廓仪专为生产环境中所需的高吞吐量和可靠性而设计,它结合了高分辨率、长扫描能力和盒式到盒式晶圆处理。

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技术文献

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勘探

创新时间表

自1977年推出Alpha Step 100触针式轮廓仪以来,我们的技术专家一直在不断地为市场带来关键创新,如先进的地形传感器、超平面扫描台和全自动测量能力。我们的工具不断发展,为您的表面轮廓仪提供可重复和准确的测量gy要求。了解更多关于我们的手写笔轮廓仪丰富的创新历史。

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仪器

对于行业专家、学者和其他创新者来说,KLA仪器提供了可靠的测量,实现了世界上的突破性技术。

缺陷检查员

坎德拉酒店®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、LED、电力设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。

纳米压头

KLA Instruments纳米压头组合提供精确、可靠和可重复的测试,以在各种测试条件下表征材料的静态和动态机械性能。

光学轮廓仪

Profilm3D®泽塔呢™️️光学轮廓仪利用干涉仪和ZDot,为三维台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式解决方案测量技术。

薄板电阻映射器

电影测量学®基于45多年的电阻测量创新和技术专业知识,开发了薄板电阻绘图仪器。

薄膜反射计

Filmetrics薄膜反射计可在几秒钟内测量透明薄膜的厚度和折射率,精度达到行业领先水平。

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