ZFT:ζ薄膜厚度

Zeta-300无所成宽带光谱仪，可口批量30纳米至100毫米的说明薄膜厚度。使用可达从数码中间选取值，该系统能够测测整片制品上的薄膜厚度厚度分布用来确定制品的均匀性。

ZFT适用于一些反射率极低(例如反射率小于0.1%)的表面。许多薄膜厚度仪器依赖镜面反射光来计算相变或其他参数，因此难以从这些类型的表面获得信号。而该系统采用宽带白光和垂直入射照明并因此适用于各种反射率低的光学透明薄膜。

ZXI:ζ垂直扫描干涉测量技术

当当与电阻平衡和素物镜综合使用时，Zeta-300支持支持扫描干涉送技术（PSI）和垂直扫描干涉送技术（VSI）。PSI可以快速测从埃级到百分子的台阶高。VSI则可以销量从百分百米到百分子的百分子。

珠海:ζ干涉对比度

ζ- 300利用Nomarski差分干涉对比显微镜可以提供精细表面细节的增强成像。Nomarski显微镜使用偏振和棱镜来改变相位,以增强样品表面上的斜率变化。这样可以对超光滑表面上的缺陷（如单层污染物）进行可视化。珠海扫描模式将斜率的变化与另一种技术测量的粗糙度相关联,并将这些图像转换为亚纳米级粗糙度的定量测量。

ZSI:ζ剪切干涉测量技术

Zeta-300剪切干涉仪变量技术（ZSI）ZIC采增强测相位变变ZIC销量。通讯更多是不锈钢的图形，然后采用高度算法进的处以成带有埃级分类的表面料卷。该型术不需要肉，也销子Z平等扫描，从而可以实现埃级到80nm的高分子送。

物理

系统配有各种物镜,包括1.25 x - 150 x普通物镜,长工作距离物镜,超长工作距离物镜,折射率校正物镜,透射物镜,液浸式物镜和垂直扫描干涉仪物镜。

耦合器

Zeta-300可配置四个不合适的光学融合器，以以光学放大倍率。系统可配置1x综合作者以保持原始原始大率，或配置0.35x，0.5x或0.63x。

物质镜头架

ζ- 300可配置5或6位手动物镜架和用于自动物镜识别的物镜传感器。该系统还可配置6位电动物镜架并实现全自动操作。

制品照明

ζ- 300的标准照明是双高亮度白光了。对于挑战性的透明样品(如图案化蓝宝石基板(PSS)),透过样品卡盘的背光也可增强光线。ζ- 300还提供侧面的暗场照明。

平台

ζ- 300可以配置各种平台以提高系统性能。可以选用压电Z轴平台以提高Z分辨率,从而能采用ZDot或ZXI测量模式对纳米级台阶高度进行测量。Z平台可以安装在旋转接头上,使探头绕样品旋转,改变表面入射角。可选的280毫米Z塔可以容纳大型部件,例如平板电脑,手机和大型机器部件。XY平台可配置手动300毫米位移或电动150或200毫米位移。可以在XY平台上添加手动旋转台。还可以选择手动倾斜平台以在干涉测量中调平平台。

品品卡盘

Zeta-300提供一系列制品卡望可支持各种应应背背光卡盘可透射透射明并适适于透明基因，这是图形蓝宝石所所需要。个样品卡。如果我们有没有您需要的卡片，请联系kla.满足您的要求。

隔离工作台

ζ- 300具有内置于系统底座的被动隔离。对于需要更好隔离的应用，可以选用主动隔离工作台。ζ- 300具有隔音罩选项,可将系统与环境噪音相隔离,从而增强纳米级台阶和粗糙度的测量能力。

台阶高度和薄膜厚度标准

ζ- 300采用VLSI标准提供的薄膜和厚膜NIST可追踪台阶高度标准。该标准采用有铬镀层的蚀刻石英台阶。台阶高度的测量范围是8nm至250μm。

系统配有多台阶认证标准包括8日25、50和100μm的标称台阶高度。该标准具有用于XY校准的各种间距图案。薄膜厚度的认证标准适用于ZFT,该标准采用参考硅表面和标称270纳米二氧化硅薄膜厚度。此外还提供粗糙度和镜面参考样品。

自动测序软件

自动测序软件利用电动XY平台,允许用户对样品上的测量位置进行编程。系统将自动对每个位置进行测量并将结果保存在用户定义的文件夹中。最终输出的报告包含样本统计信息以及汇总结果。

高级测序软件采使用图片识别以自动对料品。这样可以人为为之影响并全全全自动。在平台上行嵌入式标准以以启启启启启启启启。

拼接软件

自动图像拼接软件利用电动XY平台将相邻的扫描组合在一起以生成比单个视野更大的拼接数据集。系统自动测量每个点、对齐图像，并将它们组合成一个数据集。其结果可以像任何其他结果文件一样进行分析。

顶点分析软件

Apex分享到软件通水平水平，过滤，阶梯高度，粗糙度和表面形貌分类技术的扩展套件，增强了载物的标准数据分析力。Apex支持iso粗糙度粗糙度方法以及例如ASME的本地标准。APEX还可用作者：王莹，王莹，王莹，王莹，王莹，郧阳

离线分析软件

Zeta-300驾驶仪器具有与设备软件相同的数据分类和方方创建功能。