ZFT：Zeta薄膜厚度

Zeta-388配有宽带，30纳米100纳米100微米的薄膜厚度。用户用户可以材料数据库中中值值值值值值整片样品的厚度分布确定样品的。。

zft适用于极低低例如例如反射率反射率反射率反射率反射率反射率反射率反射率反射率反射率的许多薄厚度厚度仪器依赖依赖镜面镜面镜面反射光来来来计算其他其他参数参数参数参数参数白光和并因此于各种低光学光学薄膜薄膜。

zxi：zeta垂直扫描干涉技术技术

Zeta-388支持时时使用结合使用时使用使用使用使用支持测量测量测量技术技术（技术（技术技术技术技术技术技术技术技术技术（（技术和和和和和和干涉测量技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术技术。。。。。。。。可以可以可以可以可以可以可以可以可以可以可以则可以几百到微米的高度两者可以可以优于，并且分辨率分辨率分辨率分辨率

zic：zeta干涉对比度

zeta-388 nomarski差分差分对比可以可以提供精细表面增强增强成成像像。。。。显微镜显微镜显微镜显微镜显微镜使用偏振和来来相位（）进行进行。。扫描扫描模式将变化另一种测量测量测量的粗糙度粗糙度粗糙度相关联相关联相关联

ZSI：Zeta剪切干涉测量技术

zeta-388剪切（（（（（（采用增强增强增强增强增强增强增强测量测量测量通过通过收集多个相位的的图像图像图像图像图像图像图像图像。该需要干涉物镜干涉物镜干涉物镜干涉物镜干涉物镜没有没有没有平台扫描扫描

物镜

系统配有种，1.25x - 150x普通普通，工作距离物镜，超长工作距离物镜折射率折射率校正物镜，，透射物镜透射物镜，液浸式液浸式物镜

耦合器

zeta-388可配置个光学耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器，以以光学放大倍率。系统系统可可可可配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置配置耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器耦合器

物镜镜头架

Zeta-388可配置5或6位手动物镜架和用于自动物镜识别的物镜传感器。该系统还可配置6位电动物镜架并实现全自动操作。

样品照明

zeta-388的标准是是双亮度亮度亮度亮度亮度。。。挑战性的透明样品样品如如图案化图案化图案化图案化蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石蓝宝石）场照明。

平台

zeta-388包括个标准的的的的毫米毫米。并且压电压电压电压电压电压电压电轴提高提高提高^™或zxi测量模式对的台阶高度进行测量。。

样品卡盘

zeta-388提供系列卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘卡盘要求要求要求要求所需要。我们没有需要的卡盘，请联系kla以满足您要求。

隔离工作台

zeta-388具有系统底座被动被动隔离隔离需要应用应用应用应用应用应用应用应用应用应用，可以可以。。。。。。。样品机械运动的影响。

台阶高度和薄膜厚度标准

Zeta-388采用VLSI标准提供的薄膜和厚膜NIST可追踪台阶高度标准。该标准采用有铬镀层的蚀刻石英台阶。台阶高度的测量范围是8nm至250μm。

系统配有标准标准包括包括包括包括包括包括包括包括550和100μm，于标称于于于于于于于于于于于于于于于于于于于于于校准校准校准校准校准的的各各各种种270nm二氧化硅薄膜二氧化硅薄膜此外提供粗糙度镜面参考。。。

自动测序软件

xy电动电动电动电动电动平台允许用户上的测量位置编程。。系统系统将将自动每每个位置位置进行测量测量并将结果结果保存保存在用户用户文件文件夹夹夹夹夹结果。

高级测序图案以自动对齐样品可以为错误错误影响影响并实现实现全自动测量。。在平台平台平台上上

拼接软件

自动图像拼接软件利用电动XY平台将相邻的扫描组合在一起以生成比单个视野更大的拼接数据集。系统自动测量每个点、对齐图像，并将它们组合成一个数据集。其结果可以像任何其他结果文件一样进行分析。

顶点分析软件

apex分析通过过滤，，，粗糙度和和表面形貌扩展扩展扩展套件套件套件套件套件套件套件，增强增强增强增强增强增强增强增强增强了了设备设备设备设备设备的的的的的标准标准标准标准数据数据数据数据作报告，具有具有文本注释/否否否否的功能功能。。。。。

离线分析软件

zeta-388离线具有与软件相同数据配方创建功能。这这使用户无需用用宝贵宝贵的的设备设备设备时间