패터닝시뮬레이션
패터닝시뮬레이션
kla의패터닝시뮬레이션시스템은중대한기능설계，제조가능성그리고그리고제안된된과패터닝기술기술의공정제한된수율을탐구하기위해을사용합니다연구원들은실험재료와시제품설비를사용한의테스트웨이퍼인쇄필요한웨과비용할필요에이kla의패터닝시뮬레이션를통해euv litho과다수패터닝기법등의패터닝기술을가할할있습니다。
Playith™
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현실적인가상패터닝
Poldith™Litho및패터닝시뮬레이션솔루션은은적모델사용해서웨이퍼에인쇄하게될설계설계를하게하게시뮬레PROLITH는EUV光刻과다수의패터닝기법을포함하는패터닝기술을비용효율적으로평가하기위해IC，LED및MEMS제조업체，스캐너회사，트랙회사，마스크제조업체，소재제공업체및연구컨소시엄에서사용됩니다。모든패터닝공정에필수적으로중요한모델링툴로써，岩性엔지니어들은PROLITH를활용하여다수의光刻변수가패턴인쇄에미치는영향을이해함과동시에실현가능한솔루션을파악하는데필요한시간을상당히줄일수있습니다。
사용용사이트 기술지원응용분야
첨단패터닝시뮬레이션，아이퍼형상형상관련상품
Poldith 2020B.：결정론적그리고확률론적결과물이가능한윈도우운영체제기반물리사진식각시뮬레이터。Poldith 2020b銇는銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈銈
Poldith Enterprise 2020B.：핵심적인arprith 2020b의모든기능을하고，추가적적대규모시뮬레이션션작업（적합적합확장가능한한리눅스엔진을음화사진현상（负极开发，NTD）화학증폭감광재의거동을정확설명하는된용해（增强型溶解）모델모델선택할수있습니다。