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비패턴웨이퍼결함결함사시스템
冲浪士®비패턴비패턴이퍼퍼사시스템시스템은반도체소자의성능과에영향을주는주는결함표면품질문제를식별식별파묻힌결함및표면결함을신속하게분리하고설비，공정및재료를검증하고모니터링하여IC，OEM，재료및기판제조를지원합니다。
응용분야
공정검증설비검증,설비모니터링,출하웨이퍼품질관리,입고웨이퍼품질관리,감광재및스캐너검증,공정문제찾기。
관련상품
Surfscan SP2.XP.：≥45纳米설계노드기술을대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
Surfscan SP2：기술≥65nm설계노드노드노드를대상으로하는으로으로하는비패턴하는하는검검사요
Surfscan SP1DLS.亲：90nm이상의설계노드를으로으로비패턴웨이퍼퍼사시스템。
Surfscan SP1创伤性脑损伤亲：≥130nm설계노드기술을대상으로비패턴웨이퍼퍼사시스템。
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문의本®C200L및C200M
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200mm실리콘웨이퍼기하기하구조
이전에UltraMap UMA-C200L로알려졌던本®C200L및C200M은업계표준으로웨이퍼제조업체가연마및에피택셜200毫米실리콘웨이퍼를검증하는데사용하는베어웨이퍼기하구조측정시스템입니다。특허받은이중탐침,나노미터분해능의비접촉정전용량센서는전체에걸쳐정밀하고정확한자동기하구조측정을제공합니다。직접적이고재료에구애받지않고고해상도에고밀도측정(> 200000데이터포인트/ 200毫米웨이퍼)이각웨이퍼에서포착되어2 d및3 d웨이퍼지도을생성합니다。시스템출력분석결과에는두께,총두께변동,휨/뒤틀림,웨이퍼P / N유형및비저항은물론전체웨이퍼,위치및가장자리위치에대한평탄도측정이포함됩니다。사전정의된품질기준과5개의카세트하드웨어구성으로유연한웨이퍼분류옵션이가능합니다。
응용분야
아이퍼공정공정모니터링및，출하출하이퍼품질품질（OQC），입고입고관리웨이퍼제조제조（IQC）
관련상품
MicroSENSE CSW1：SI，SIC，GAN，GAAS（사파이어，sic또는si에서），ge및에피택시공정용150 / 200mm가교설비
微缩str1：SI，SIC，GAN，GAAS（사파이어에서，sic또는si），ge및에피택시공정용150 / 200mm가교설비，2d응력옵션이포함
MicroSENSE BP1：SI，SIC，GAN，GAAS，사파이어용얇은얇은뒷면연마이퍼，절단절단또는150/ 200mm가교설비
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150毫米/ 200毫米웨이퍼기하구조시스템
이전전UltraMap UMA-C200으로으로微观®CSW1은베어웨이퍼기하구조측정시스템으로웨이퍼제조업체가절단되거나,연마된그리고에피택시150毫米200毫米및실리콘및SiC기판과氮化镓、砷化镓,사파이어및에피택시공정을포함한기타공정을검증하는데사용합니다。두개의카세트가있는가교설비인CSW1은150毫米200毫米및웨이퍼를동시에수용할수있습니다。특허받은이중탐침,나노미터분해능의비접촉정전용량센서는전체에걸쳐정밀하고정확한자동기하구조측정을제공합니다。시스템출력에는두께,평탄도,형,상해당위치에대한평탄도및가장자리분석결과의고밀도2 d및3 d지도가포함됩니다。
응용분야
아이퍼공정공정모니터링및，출하출하이퍼품질품질（OQC）
관련상품
MicroSENSE C200L / M：연마된실리콘및에피택셜웨이퍼제조업체를위한위한위한웨이퍼측정측정
微缩str1：SI，SIC，GAN，GAAS，사파이어및및에피택시150/ 200mm가교설비，2d응력옵션포함
MicroSENSE BP1：SI，SIC，GAN，GAAS，사파이어용얇은얇은뒷면연마이퍼，절단절단또는150/ 200mm가교설비
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문의本®BP1
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150mm및200mm웨이퍼기하기하구조
이전전UltraMap UMA-200-BP로로微观®BP1은베어웨이퍼기하구조측정시스템으로웨이퍼제조업체에서절단되거나,연마된그리고에피택셜실리콘및SiC기판과氮化镓、砷化镓,사파이어및에피택시공정을비롯한기타기판을검증하는데사용합니다。웨이퍼와기판은원형또는정사각형일수있으며최대200毫米까지측정할수있습니다。다양한웨이퍼홀더를사용할수있습니다。BP1은2개의특허받은비접촉식고해상도자동위치배압탐침을사용하여웨이퍼두께,평탄도및형상을정밀하게측정합니다。BP1은매우유연한시스템으로광범위한웨이퍼두께와모든웨이퍼재료를측정할수있습니다。웨이퍼표면마감은측정에영향을미치지않습니다。해당설비는절단된,정밀하게마무리된또는광택웨이퍼를측정합니다。
응용분야
아이퍼공정공정모니터링및，출하출하이퍼품질품질（OQC）
관련상품
MicroSENSE C200L / M：연마된실리콘및에피택셜웨이퍼제조업체를위한위한위한웨이퍼측정측정
微缩str1：SI，SIC，GAN，GAAS，사파이어및및에피택시150/ 200mm가교설비，2d스트레스옵션포함
MicroSENSE CSW1：SI，SIC，GAN，GAAS（사파이어，sic또는si），ge및및택시공정을위한150 / 200mm가교교
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