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비패턴웨이퍼결함검사시스템
Surfscan®비패턴웨이퍼검사시스템은반도체소자의성능과신뢰성에영향을주는결함과표면품질문제를식별합니다。파묻힌결함및표면결함을신속하게분리하고설비,공정및재료를검증하고모니터링하여IC, OEM,재료및기판제조를지원합니다。
응용분야
공정검증설비검증,설비모니터링,출하웨이퍼품질관리,입고웨이퍼품질관리,감광재및스캐너검증,공정문제찾기。
관련상품
Surfscan SP2XP：≥45纳米설계노드기술을대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
Surfscan SP2:기술≥65海里설계노드를대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
Surfscan SP1DLS正方观点:90海里이상의설계노드를대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
Surfscan SP1创伤性脑损伤正方观点:≥130海里설계노드기술을대상으로하는비패턴웨이퍼검사시스템。
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문의2835年,2367年
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광대역플라즈마패턴웨이퍼결함검사시스템
2367年2835年및광대역플라즈마결함검사시스템은광학패턴결함검사에대해업계에서증명된성능을제공하여≥45纳米로직,메모리및특화소자에서수율에중대한영향을미치는결함을검출하고모니터링할수있습니다。각모델에는선택가능한파장빛입사,이미징픽셀,광학모드와노이즈억제및결함분리를위한고급알고리즘이고유하게장착되어있어가장중요한단계를위한비용효율적인인라인검사제어를제공합니다。
응용분야
인라인결함검출및모니터링,핫스팟검출,엔지니어링분석,공정마진창검증,포토셀모니터링
관련상품
2835:≥45纳米설계노드를대상으로하는광대역DUV-UV -가시광스펙트럼이있는패턴웨이퍼검사시스템
2367:≥65海里설계노드를대상으로하는광대역UV -가시광선스펙트럼이있는패턴웨이퍼검사시스템
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문의彪马™91 xx
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레이저스캐닝패턴웨이퍼결함검사시스템
彪马™9150年9130年및레이저이미징검사기는紫外线빛입사광학계와여러고속이미징센서를결합하여패턴화된생산웨이퍼에서중요한결함인라인검출을위한다양한광학모드를제공합니다。91 xx는높은샘플링속도,높은처리량및고감도를제공하여중요한전반공정(FEOL)및후반공정(BEOL)층에서수율에영향을미치는결함을보다효과적으로검출하고제어할수있습니다。91 xx는완전한혼합,맞춤형패턴웨이퍼검사전략을위해解放军2367전체스펙트럼紫外线/가시광선및2835 DUV / UV /가시광명시야검사기를보완합니다。
응용분야
라인모니터,설비모니터,설비검증,박막결함,포토셀모니터링,노광후검사
관련상품
彪马9150:紫外线빛입사레이저기반이미징기술을사용한패턴웨이퍼검사。9150年은성능향상을위해서수직빛입사,향상된데이터속도,새로운광학모드를추가하여9130을확장합니다
彪马9130:紫外线빛입사레이저기반이미징기술을사용한패턴웨이퍼검사
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문의功能™-5210年
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电子束웨이퍼결함리뷰및분류시스템
功能™-5210年전자빔(e -빔)웨이퍼결함리뷰및웨이퍼분류시스템은결함으로부터고해상도이미지를검출하여웨이퍼의결함개체수를정확하게표시합니다。eDR은IC및웨이퍼제조중더빠른수율학습을위해解放军검사기에독특한연결성을제공합니다。
응용분야
결함이미징,자동인라인결함분류및성능관리,베어웨이퍼출하및입고품질관리,웨이퍼분류,핫스팟검출,결함검출,공정마진창검출,공정마진창검증,빗면가장자리리뷰
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