혁신적결함검출

eSL10™전자빔패턴웨이퍼결함검사기(电子束的晶圆缺陷检查员)는AI가통합된解放军의최초공정관리시스템으로서극단적으로감지하지어려운결함신호와주위패턴및공정노이즈를구분하는智慧™딥러닝알고리즘을사용합니다。eSL10은AI를활용하여는진화하는검사요구조건에적응할수있으며,첨단디바이스의성능에가장중대한영향을주는결함을구분하게됩니다。

eSL10

결함분류의재탄생

검사시스템은레티클,웨이퍼,패키지및PCB를위한주요결함을검출합니다。기존에는광학및전자빔결함이미지를리뷰하려면사람이결함유형을검증하는작업이필요했습니다。AI시스템은생산속도를유지하고에러를줄이면서결함을빠르게분류및구분하도록학습하고적응합니다。

결함검사

레티클의사결정센터

스마트제조

스마트IC의미래는자동화,최적화된공장과연결되어제조될것입니다。AI시스템은대량데이터를처리하여추세및잠재이탈점에대한인사이트를확보하고해당지식을활용하여의사결정을내립니다。품질,수율및생산성과제조공정에대한완전한가시성은지속적인개선에필요한추적가능성을제공할수있습니다。

玛莉^®을사용한자동차반도체신뢰성개선