오늘解放军的仪器는파워디바이스응용을위한烛光^®8520年결함검사시스템을발표하였습니다。이제품은임무수행에필수적인지형학적이고결정학적인결함의모든검출기능을하나의플랫폼에통합한최초의검사시스템인烛光^®CS920시스템의후속작입니다。

烛光^®8520年은전작에비해속도가두배더빠르기때문에,빠르게성장하는파워디바이스시장을위하여수율향상의속도를높이는데도움이됩니다。烛光8520웨이퍼검사시스템은웨이퍼의적층결함(堆垛层错)이나애피택셜성장(外延生长)후의기저면변위(底面错位、桶)와같은치명적결함검출의한계를극복하는능력을갖추고있습니다。또한이시스템은온——툴결함리뷰,다이등급부여,등고선지도와같은분석도구를제공합니다。이시스템은공정엔지니어들이정확한교정작업을수행하는데도움이되는종합적인검사보고서를생성할수있습니다。

烛光8520는마이크로관및마이크로피트결함,캐롯결함,기저면변위,적층결함,계단군집과같은여러결함을정교하게구분하기위하여사용할수있으며,SiC기판과SiC에피택셜공정제어에문제를일으킬수있는큰지형학적결함을찾아낼수있는다섯가지상호보완적검사기법들을조합하였습니다。

다크필드,브라이트필드,경사,위상,광발광(PL)기법을처리속도가향상된하나의플랫폼에조합함으로써파워디바이스제조업체에높은가치를제공합니다。

烛光8520검사시스템은탁월한성능과생산성을유지할수있도록解放军의글로벌종합서비스네트워크의지원을받습니다．

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