今天KLA仪器宣布烛光^®8520电力设备应用缺陷检测系统。这是坎德拉的继任者^®CS920系统，第一个将关键地形和晶体缺陷的检测和分类集成到一个平台上的检测系统。Candela 8520的速度是其前身的两倍多，有助于加速提高产量，以适应快速增长的电力设备市场。

Candela 8520晶圆检测系统具有关闭关键缺陷检测差距，例如在外延生长后裸晶圆和基底平面脱位上的堆叠故障。该系统还具有分析工具，如工具缺陷审查，模具分级和轮廓映射。它可以生成一份全面的检查报告，帮助处理工程师推动准确的纠正措施。

Candela 8520结合了五种可互补的检查技术，这些技术可以组合使用，以使多种缺陷之间的微小区分，例如微皮带和微缺陷，胡萝卜和基底平面位错，堆叠故障和步骤束等。同时也捕获了大的地形缺陷可以困扰SiC衬底和SiC外延过程控制。

在单一平台上结合暗场、亮场、斜率、相位和光致发光技术，提高吞吐量，为电力设备制造商带来高价值。

为了保持高性能和生产力，坎德拉8520检验系统被支持KLA的全球综合服务网络。

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