缺陷检测系统
缺陷检测系统
坎德拉®缺陷检测系统可以检测和分类化合物半导体基片(GaN, GaAs, InP，蓝宝石，SiC等)和硬盘驱动器上的广泛的关键缺陷，在生产吞吐量上具有高灵敏度。
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坎德拉®6300系列
基于激光的硬盘驱动器（HDD）基板检查系统，用于测量整个磁盘表面形貌、微粗糙度和波纹度，并检查晶圆表面是否存在缺陷。自动化模型Candela 6340包括磁盘盒到磁盘盒的处理。
坎德拉®7100系列
基于激光的检测系统，用于硬盘驱动器（HDD）基板和介质的高灵敏度表面缺陷检测，具有用于亚微米凹坑和颗粒分类的多条光路。自动型号Candela 7140包括盒式磁盘到盒式磁盘的处理。
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自Candela光学表面分析仪（OSA）推出以来1997年，我们的技术专家继续为化合物半导体和数据存储市场引入缺陷敏感性和分类方面的关键创新。我们的检测技术在每次新产品发布时都提供了性能改进，包括我们业界首创的、屡获殊荣的结合高速表面de的能力在单一平台上进行fect检测和光致发光计量。了解更多有关坎德拉缺陷检测仪丰富创新历史的信息。
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仪器
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纳米压头
KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试，以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。
光学分析器
的Profilm3D®和ζ™️️光学轮廓仪利用干涉仪和ZDot，为三维台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式解决方案™测量技术。
薄层电阻映射器
的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新和技术专长，薄板电阻测绘仪器已经开发出来。
触针轮廓仪
的Alpha-Step®, Tencor™P系列与HRP®触针式轮廓仪可实现高精度、二维和三维表面计量。触针轮廓仪可测量台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力，其稳定性和可靠性达到业界领先水平，满足您的研发和生产计量要求。
薄膜反射计
Filmetrics薄膜反射计可在数秒内测量透明薄膜的厚度和折射率，具有行业领先的精度。