薄膜测量系统
薄膜测量系统
的Filmetrics®一系列价格合理的反射计可在几秒钟内提供高精度薄膜厚度测量。这些易于使用的工具，结合智能软件和广泛的附件和配置，在1nm到3mm的膜厚测量中提供了最大的通用性。
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Filmetrics F54
将F40的小测量光斑尺寸与集成相机相结合，使用R-Theta平台自动绘制直径达300mm的晶圆。F54先进光谱反射率系统可快速方便地绘制直径高达450mm的样品薄膜厚度。
Filmetrics f54 - xy - 200
F54-XY-200是一种自动台式绘图系统，用于测量薄膜厚度、折射率、反射率、吸收和表面粗糙度。五种配置包括从4nm到120µm的薄膜厚度，光斑大小从2µm到100µm。
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从1995年推出第一款薄膜测量仪器开始，Filmetrics的技术专家一直在继续生产关键的创新产品，如AutoBaseline™，使用薄膜厚度图像进行模式识别，并内置自动波长校准。二十多年来，Filmetrics提供的创新技术和无与伦比的应用支持为客户提供了可重复和可靠的薄膜计量测量。了解更多关于创新的丰富历史，了解为什么薄膜测量反射计是薄膜测量的标准。
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仪器
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缺陷检查员
的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、LED、电力设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。
纳米压头
KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试，以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。
光学分析器
的Profilm3D®和ζ™️️光学轮廓仪利用干涉仪和ZDot，为三维台阶高度、粗糙度和其他表面形貌测量提供快速、非接触式解决方案™测量技术。
薄板电阻映射器
的Filmetrics®基于45多年的电阻测量创新和技术专业知识，开发了薄板电阻绘图仪器。
触针轮廓仪
的Alpha-Step®, Tencor™P系列与HRP®触针式轮廓仪可实现高精度、二维和三维表面计量。触针轮廓仪可测量台阶高度、粗糙度、弯曲度和应力，其稳定性和可靠性达到业界领先水平，满足您的研发和生产计量要求。