光学表面光度仪
光学表面光度仪
Profilm3D®和ζ™️️光学轮廓仪为三维表面形貌测量提供快速、简单、非接触的解决方案。我们的光学轮廓仪支持多种测量技术，包括白光干涉，真彩色成像和ZDot™共焦网格结构照明。我们可以帮助指导您正确的分析器解决方案，以满足您的独特需求。
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KLA Instruments™光学轮廓仪产品组合的历史是一个来自不同起源的创新故事。ADE推出了MicroXAM干涉仪。Zeta Instruments开发了ZDot和多模光学轮廓仪。Filmetrics®介绍了新型通用白光干涉仪。这些产品组合成光学轮廓仪的多样化组合，现在统一在KLA仪器品牌下。了解更多关于我们丰富的创新历史，以及我们的工具如何不断发展，以支持您的表面计量要求。
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仪器
对于行业专家、学者和其他创新者来说，KLA Instruments提供可信的测量，实现了世界上突破性的技术。
缺陷检查
的烛光®复合半导体和硬盘驱动器的检测系统可以帮助工程师在通信和网络、led、电源设备、传感、太阳能、光伏和数据存储等应用领域实现显著的产量和工艺改进。
Nanoindenters
KLA Instruments纳米压头组合提供了精确、可靠和可重复的测试，以在广泛的测试条件下表征材料的静态和动态力学性能。
薄层电阻映射器
的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新和技术专长，薄板电阻测绘仪器已经开发出来。
笔分析器
的Alpha-Step®, Tencor™p系列,合®手写轮廓仪可以实现高精度，2D和3D表面计量。触控笔轮廓仪测量台阶高度，粗糙度，弓和应力具有行业领先的稳定性和可靠性，为您的研发和生产计量要求。
薄膜反射计
Filmetrics薄膜反射计可在数秒内测量透明薄膜的厚度和折射率，具有行业领先的精度。