ADE相移发布MicroXAM光学轮廓仪，与Angstrom-level敏感性用于超光滑表面的移相干涉测量和用于台阶高度较大的样品的垂直扫描干涉测量。

KLA收购ADE公司，增加microxam - 100光学分析器KLA的台式计量产品组合，以及半导体市场的衬底几何和缺陷检测解决方案。

Zeta-20是Zeta仪器公司发布的第一款产品。

Zeta-20是业界使用的第一款光学轮廓仪ZDot^™这是一项结合了结构照明的专利技术，共焦光学产生高分辨率，三维表面形貌数据和表面的真彩色图像。这种技术使用户能够轻松地聚焦于任何透明或不透明的表面，用于快速测量台阶高度和粗糙度。通过将ZDot与白光干涉法、剪切干涉法、用于透明薄膜的反射仪和自动缺陷检测相结合，多模光学扩展了非接触式三维表面轮廓仪的能力。

Zeta-200版本具有自动X-Y舞台和支持LED应用的新功能。

Zeta-200光学轮廓仪利用高透射光学设计、背面照明和专有算法来测量图纹蓝宝石衬底(PSS)。该系统可以适应各种PSS凹凸形状，测量所有PSS颠簸的高度和俯仰在视场内，从而避免假凸点特征或结果因测量一小块区域而扭曲。采用多模光学，该系统还可以在PSS制造过程中测量薄膜厚度和样品弓。最后，通过自动缺陷检查，Zeta-200可以识别缺陷，如缺失的凸点、划痕和颗粒。

泽塔-280增加了一个单一的磁带，台式处理程序泽塔-200平台。

新的Zeta-300轮廓仪支持测量X-Y和Z尺寸较大的设备．该系统通过集成的隔离台和隔声外壳与环境噪声隔离。

Zeta-20利用ZDot发布了微流控设备支持^™以及透明、多表面测量应用。

Zeta-20采用ZDot技术和多表面应用提供了一个用于封装的微流体器件的创新测量解决方案．高传输光学设计允许ZDot信号在经过多层后仍然保持强。这使得可以测量盖板厚度、通道深度和微流控通道内控制结构的尺寸，以及在用盖玻片封装设备之前和之后的尺寸。封装后的测量是至关重要的，因为封装会改变通道和控制结构的形状，影响设备的性能。

Zeta-380结合了Zeta-280的台式处理器和Zeta-300平台。

microxam - 800结合最好的硬件和算法来自Ambios和ADE相移干涉测量平台，具有新的，创新的，易于使用的软件，自动化测量步高和粗糙度。

Zeta-20发布与增强的性能，解决了太阳能行业的独特挑战。

Zeta-20提供创新的解决方案用于太阳能行业测量三维表面形貌的纹理加工和金属接触线。纹理测量对控制金字塔结构的高度、形状和大小分布至关重要，影响太阳能电池的光捕获效率。银接触线是用丝印工艺沉积的，导致接触线的宽度、高度、体积和电阻有很大的变化，以及设备的成本。开发了高动态范围测量模式来处理具有非常不同反射率的材料。对于太阳能电池的制造，需要采用高动态范围模式来测量镀有抗反射涂层的金字塔纹理上的银接触线。

Zeta-360和第一代Zeta-388产品提供了新的选择自动晶片处理能力在泽塔平台上

Profilm3D光学轮廓仪推出，提供了一种负担得起的基于干涉测量的三维表面形貌测量解决方案。

结合其成功的薄膜反射计生产线Filmetrics的设计优化^®开发一种价格合理，易于使用的光学轮廓仪与多种成像技术，以解决各种应用，包括薄膜厚度，表面粗糙度，台阶高度和地形。

Zeta Instruments加入KLA Instruments集团，扩展了KLA的光学轮廓仪产品线，增加了ZDot和多模测量技术。Zeta系列支持3D表面形貌测量的研发、生产和全自动化盒式对盒式环境。

的Filmetrics ProfilmOnline^®软件使用户能够在不需要台式电脑的情况下存储、共享和分析3D数据。

利用网络浏览器和强大的智能手机的功能，Filmetrics启动世界上唯一的web应用程序致力于在线存储、查看和分析3D地形数据，如光学轮廓仪、扫描探针显微镜(如AFMs)和其他3D成像显微镜获得的数据。用户只需点击一下Filmetrics Profilm3D光学轮廓仪即可无缝上传数据，分析数据，并与同事分享图像和测量结果。专用的手机和平板电脑应用程序允许用户在任何地点、任何设备上查看自己的数据。

Zeta-388因其图形蓝宝石衬底(PSS)应用荣获2018年化合物半导体行业计量奖。

TotalFocus^™功能被添加到Profilm3D中，提供三维自然彩色图像样本表面的每一个像素。

Zeta-388是最新一代光学轮廓仪，具有盒式到盒式晶片处理能力。

Zeta-388具有自动晶圆处理能力，新的数据分析软件，以及对SECS/GEM的支持生产车间内的全自动测量．快速，高分辨率测量浅层台阶现在是可能的加入相移干涉术和新的自动多光标数据分析。新的光源增强了对深高深比沟槽的全自动测量。该系统提供了具有生产价值的过程控制测量，如图形蓝宝石衬底上的凹凸高度、粗糙度和台阶高度。

Filmetrics加入KLA Instruments集团，成为Filmetrics, A KLA Company。beplay官网uedFilmetrics系列薄膜测量仪器将KLA的台式计量能力扩展到测量薄膜厚度，n, k．Filmetrics Profilm3D光学剖面仪扩展了KLA仪器测量表面形貌的产品线，为不需要KLA现有仪器全部功能的应用提供了新的选择。

profilm3d - 200的功能一个200mm行程的电动舞台以及200mm直径晶圆的适配器。