薄层电阻映射器
薄层电阻映射器
的Filmetrics®基于超过45年的电阻测量创新，已开发出薄板电阻测量仪器。从1975年ADE 6035电阻率测量仪的推出到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics开发的技术，R50是结合了专业技术的顶点，提供了r系列片电阻测量工具。
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Filmetrics R50-4PP
Filmetrics R50-4PP触点探针系统绘制金属层厚度、薄片电阻、薄片电阻率、薄片电导和薄片电导率。10年的测量能力和大的Z范围使R50-4PP成为各种应用的理想选择。
Filmetrics R50-200-4PP也可用于容纳较大的样本量。
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Filmetrics R50-EC
Filmetrics R50-EC非接触涡流系统绘制金属层厚度、薄片电阻、薄片电阻率、薄片电导和薄片电导率。非接触式涡流片电阻测量是测量敏感和/或柔性导电表面上的电阻和薄膜厚度的理想方法。
Fimpetrics R50-200-EC也可容纳更大的样品尺寸。
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α-步骤®，Tencor.™P系列和HRP®手写轮廓仪可以实现高精度，2D和3D表面计量。触控笔轮廓仪测量台阶高度，粗糙度，弓和应力具有行业领先的稳定性和可靠性，为您的研发和生产计量要求。
薄膜反射计
Filmetrics薄膜反射计可在数秒内测量透明薄膜的厚度和折射率，具有行业领先的精度。