使用Candela减少通信和传感应用的GaAs、InP和其他化合物半晶片的缺陷^®．

讨论Candela的缺陷检查和缺陷减少^®用于通信和传感设备的砷化镓、lnP和其他化合物半导体晶圆上的系统。