产品描述
ZetaScan为显示和太阳能应用提供高通量的玻璃面板检查，包括玻璃顶部和底部的颗粒，滑块，凹坑，凹凸，划痕，嵌入缺陷，以及GaAs上的薄膜缺陷。宏、微观缺陷分类采用光学特征和缺陷属性相结合的方法。ZetaScan检测系统的高灵敏度为工艺开发和大批量制造过程控制提供了一个具有成本效益的解决方案。
特性
- 检测玻璃晶片和面板上的缺陷
- 允许手动加载高达Gen2尺寸和2.5mm厚度的晶圆
- 检测粒子，划痕，凹坑，凸起污渍和其他表面缺陷
用例
- 底物质量控制
- 晶圆进厂质量控制(IQC)
- 出片质量控制(IQC)
- CMP(化学机械过程)/抛光过程控制
- 晶圆清洁过程控制
- 流程监控工具
