产品描述

Candela 8520检查系统采用专有的光学技术，同时测量两个入射角的散射强度。它捕获了用于自动检测和分类的地形变化，表面反射率，相移和光致发光，以及广泛的感兴趣的缺陷（DOI）。8520为GaN晶片提供表面和光致发光缺陷检查，检测和分类GaN反应器缺陷控制的GaN位错，凹坑和孔。其功率应用包括基于SiC的透明晶片检查和晶体缺陷的分类，如BPDS（基础平面位错），微潜水锅，堆叠故障，杆堆叠故障，晶界，穿线位错，以及检测像三角形，胡萝卜，垮台等地形缺陷划痕。

特性

• 检测包括SiC和GaN(衬底和外延)在内的宽带隙材料的缺陷，其直径可达200毫米
• 支持广泛的晶圆厚度
• 检测粒子，划痕，裂缝，污渍，凹坑，凸起，酸象蚀刻映射，胡萝卜和表面三角形，基底平面位错，堆叠故障，晶界，穿线脱位和其他宏观外延障碍

用例

• 基板质量控制
• 基板供应商比较
• 晶圆进厂质量控制(IQC)
• 外出晶圆质量控制（IQC）
• CMP(化学机械过程)/抛光过程控制
• 晶圆清洁过程控制
• 外延过程控制
• 衬底到外延相关
• 外延反应器供应商比较
• 流程监控工具

行业

• SiC和GaN电源器件
• 其它高端复合半导体器件

选项

• 塞尔宝石
• 灯塔
• 钻石抄写员
• 校准标准
• 离线软件
• 光学字符识别（OCR）
• 光致发光