ZFT:ζ박막두께

Zeta-20은30 nm에서100µm의투명,얇은박막두께측정을위한통합광대역분광계를제공합니다。사용자가소재라이브러리에서굴절율값을선택하여단층또는다층스택박막두께를측정할수있습니다。박막두께는샘플산포를파악하기위해샘플에걸쳐맵핑할수있습니다。

의0.1% ZFT는반사율을가진샘플등의반사율이가장낮은표면에적용됩니다。다수의박막두께툴의경우위상변화또는기타변수를산출하는데거울반사광에의존하기때문에이러한표면유형에서신호를확보하기어렵습니다。광대역백색광과수직입사광을적용하면툴을반사율이낮은다양한광학투명박막에사용할수있습니다。

ZXI:ζ수직주사간섭측정법

Zeta-20은간섭측정대물렌즈와압전스테이지결합시에위상천이주사간섭측정법(PSI)와수직주사간섭측정법(VSI)를지원합니다。PSI는옹스트롬에서수백나노미터의스텝높이를신속하게측정하도록합니다。VSI는수백나노미터에서수백미크론의스텝높이를신속하게측정하도록합니다。두개의측정법모두대물렌즈수차와상관없이나노미터단위해상도보다더나은성능을선보입니다。

珠海:간섭대비

Zeta-20은노말스키차등간섭대비현미경을활용하여미세표면세부이미지를개선합니다。노말스키현미경은편광과프리즘을이용하여샘플표면상의경사변화를향상시키기위해변위를변경합니다。이를통해오염의단층등의매우매끄러운표면상의결함을시각화할수있습니다。珠海스캐닝모드는타기법으로측정한조도와경사변화의상관관계를구해이러한이미지를서브나노단위의조도의정량적측정값으로변환합니다。

ZSI:ζ전단간섭측정계

Zeta-20전단간섭측정법(ZSI)는위상변화를추가하여珠海측정을향상시킵니다。상이한위상의다수의이미지를수집한후첨단알고리즘으로처리하여옹스트롬단위해상도의표면형상의정량적측정값을생성합니다。이러한기법에는간섭측정타겟가필요없으며Z -스테이지스캐닝을하지않기때문에옹스트롬에서80海里의고해상도측정값을생성합니다。

대물렌즈

1.25 - 150 x정상타겟,긴작동거리타겟,매우긴작동거리타겟와굴절율조정된타겟,관통투과타겟,액침타겟와수직주사간섭측정법타겟를포함하여다양한대물렌즈가제공됩니다。

커플러

Zeta-20은광학배율을변경하기위해4가지의상이한광학커플러로구성할수있습니다。해당시스템은기본배율을유지하기위한1 x커플러로구성하거나배율을확대하기위해0.35 x 0.5 x 0.63 x커플러로구성할수있습니다。

대물렌즈터렛

Zeta-20은자동대물파악을위한대물렌즈센서와5또는6포지션의수동터렛으로구성할수있습니다。또한이시스템은완전히자동화된운영을위한6포지션의전동터렛으로구성할수있습니다。

샘플조명

Zeta-20은듀얼고조도백색领导를표준조명으로사용합니다。패턴사파이어기판(PSS)등의다루기어려운투명샘플에대해조명을개선하기위해샘플척을통해배경조명을제공합니다。또한Zeta-20은측면다크필드조명을지원합니다。

스테이지

시스템성능을개선하기위해다양한스테이지로Zeta-20을구성할수있습니다。압전Z -축스테이지를추가하여ZDot™또는ZXI측정모드로나노단위스텝높이의측정을위한해Z상도를개선할수있습니다。Z -스테이지를스위블에탑재하여표면상의입사각을변경하기위해샘플을헤드에서회전할수있습니다。280毫米Z타워를선택적으로탑재하여태블릿,폰및대형기기부품등의대형부품을지원할수있습니다。100年XY스테이지는또는300毫米수동이동역량또는150또는200毫米의동력이동역량으로구성할수있습니다。수동회전스테이지를XY스테이지에추가할수있습니다。수동팁과기울기스테이지를추가하여간섭측정을위해스테이지수평을조정할수있습니다。

샘플척

Zeta-20은애플리케이션요구사항을지원할수있는다양한척을보유하고있습니다。太阳能샘플은엣지를측정하기위해샘플을기울게하는156毫米샘플척또는太阳能틸트엣지척을필요로합니다。투과된조명을지원하는투명기판을위한후광척도있습니다。300毫米웨이퍼척이제공됩니다。필요하신척이없다면요구사항에대해解放军에연락주세요。

제진테이블

Zeta-20은수동형제진피트가시스템의기반에내장되어있습니다。추가제진이필요한경우능동형및수동형벤치탑제진테이블을사용할수있습니다。

스텝높이및박막두께기준

超大规模集成电路Zeta-20은기준이제공하는얇고두꺼운박막의NIST -추적가능한스텝높이기준을사용합니다。표준사항은크롬코팅된식각쿼츠스텝을선보입니다。8海里에서250µm의스텝높이가제공됩니다。

인증된다단기준은8日25、50와100µm의공칭스텝높이를보유하고있습니다。표준사항은XY교정을위한다양한피치패턴을보유합니다。기준실리콘표면과공칭270海里산화실리콘박막두께를포함한ZFT를위한인증된박막두께표준이제공됩니다。기준조도및거울샘플도제공됩니다。

자동시퀀싱소프트웨어

자동시퀀싱소프트웨어는자동XY스테이지를활용하여사용자가샘플상의측정위치를프로그램하도록합니다。이시스템은각부위를자동측정하며사용자정의폴더에결과를저장합니다。결과를요약하기위해샘플통계를포함한결과물보고서가생성됩니다。

첨단시퀀싱소프트웨어는샘플을자동정렬하는패턴인식을포함합니다。이를통해완전한자동측정이가능해져서작업자오류로인한영향을줄일수있습니다。내장기준을스테이지에서사용할시에자동교정을사용할수있습니다。

스티칭소프트웨어

자동이미지스티칭소프트웨어는전동XY스테이지를활용하여단일시야보다큰스티칭된데이터세트를생성하기위해인접스캔을조합합니다。시스템은자동으로모든부분을측정하고이미지를정렬하여한개의데이터세트로조합합니다。결과는기타결과파일과마찬가지로분석가능합니다。

顶点분석소프트웨어

顶点분석소프트웨어는확장된평준화,필터링,스텝높이,조도및표면형상분석기법으로P-7표준데이터분석역량을향상시킵니다。顶点는ISO조도산출방식과더불어ASME등의현지기준을지원합니다。또한顶点는텍스트,주석과합/불기준을추가할수있는역량을통해보고서작성플랫폼으로도사용할수있습니다。顶点는8개언어를지원합니다。

오프라인분석소프트웨어

Zeta-20오프라인소프트웨어는툴상에탑재된레시피생성및데이터분석역량을동일하게보유하고있습니다。이를통해사용자는소중한툴시간을희생하지않고데이터를분석하며레시피를생성할수있습니다。