ZFT: Zeta 박막 두께

Zeta-300은30nm에서100µm의의，얇은박막측정위한통합분광계합니다합니다합니다합니다합니다사용자가에서절율을선택단층다층스택박막두께를측정할있습니다있습니다있습니다。박막두께산포파악하기샘플에맵핑할있습니다있습니다있습니다。

zft는0.1％의을가진등이가장표면됩니다됩니다됩니다됩니다다수의께의경우변화기타를산출하는데거울반사광에에의존하기하기때문에에이러한이러한표면유형유형유형에서에서에서에서신호신호신호를를를어렵습니다어렵습니다어렵습니다어렵습니다。광대역백색광과적용하면툴반사율낮은다양한투명박막에사용할수있습니다있습니다。

ZXI: Zeta 수직 주사 간섭측정법

Zeta-300은 간섭측정 대물렌즈와 압전 스테이지 결합 시에 위상천이 주사 간섭측정법(PSI)와 수직주사 간섭측정법(VSI)를 지원합니다. PSI는 옹스트롬에서 수백 나노미터의 스텝 높이를 신속하게 측정하도록 합니다. VSI는 수백 나노미터에서 수백 미크론의 스텝 높이를 신속하게 측정하도록 합니다. 두개의 측정법 모두 대물 렌즈 수차와 상관없이 나노미터 단위 해상도보다 더 나은 성능을 선보입니다.

ZIC: 간섭 대비

zeta-300은노말스키간섭현미경을미세표면이미지를합니다합니다。노말스키현미경과을하여샘플상의변화를향상시키기위해변위를합니다합니다합니다。이를의등의매우표면결함을화할수있습니다있습니다。zic스캐닝타으로측정조도와의상관를구해이러한이미지를를서브나노단위의조도조도의의정량정량적측정측정측정측정값값으로합니다합니다합니다합니다。

ZSI：Zeta전단간섭측정계

zeta-300전단간섭（ZSI）는는하여하여하여하여측정향상시킵니다향상시킵니다。상이한다수이미지수집한첨단으로처리하여옹스트롬단위해상도의표면표면형상의의정량정량적측정측정값값값을을생성합니다。Z-Z-없으며스테이지스캐닝을하지않기않기않기때문에옹스트롬옹스트롬옹스트롬옹스트롬옹스트롬옹스트롬옹스트롬옹스트롬옹스트롬에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서에서의의의의의고해상도측정값합니다합니다합니다。

대물렌즈

1.25x - 150x정상타겟，긴작동타겟，매우작동와절율조정된된타겟，관통관통타겟，액침과타겟타겟타겟타겟액침액침와수직수직주사주사간섭측정법타겟를포함포함하여하여하여하여하여하여하여다양다양

커플러

zeta-300은배율을변경하기위해위해가지의광학커플러로구성수있습니다있습니다。1x커플러로커플러로커플러로커플러로유지유지유지유지유지배율을을확대확대하기하기하기하기하기위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해위해구성구성구성구성구성위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한위한

대물렌즈터렛

zeta-300은자동파악을위한렌즈센서센서와와와와와와와와와와와포지션포지션의수동터렛으로구성할할수있습니다。또한이완전히자동화된운영을을위한위한위한포지션전동터렛구성할수수있습니다。

샘플 조명

zeta-300은고조도백색백색를를조명합니다합니다합니다。패턴（PSS）등등다루기투명에조명조명개선하기위해위해샘플척을통해배경배경조명합니다합니다합니다합니다합니다。또한Zeta-300은은다크필드을합니다합니다합니다。

스테이지

Zeta-300을을구성구성할있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다Z-Z-축추가하여하여Zdot™ZXI측정측정모드로단위스텝스텝의위한위한위한위한위한위한위한해상도를할할있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다z-스테이지스위블하여표면입사각변경하기위해을헤드에서회전할수있습니다있습니다。280mm z타워선택으로탑재하여태블릿태블릿태블릿태블릿태블릿부품등의대형부품을지원할수있습니다있습니다있습니다xy스테이지는300mm수동이동역량또는또는또는또는또는또는의역량역량구성있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다있습니다。수동를xy스테이지스테이지추가할있습니다있습니다있습니다。수동팁과를하여간섭측정스테이지수평을수있습니다있습니다있습니다。

샘플척

Zeta-300은 애플리케이션 요구사항을 지원할 수 있는 다양한 척을 보유하고 있습니다. 패턴 사파이어 기판에 필요한 투과 조명을 지원하는 투명 기판을 위한 후광 척이 제공됩니다. 300mm를 포함한 다수의 웨이퍼 사이즈를 지원하는 다양한 샘플 척이 제공됩니다. 필요하신 척이 없다면요구사항에대해대해연락주세요.

제진 테이블

Zeta-300 내에는 수동형 제진 역량이 시스템의 기반에 내장되어 있습니다. 더 나은 제진 역량이 필요한 애플리케이션의 경우 능동형 제진 테이블을 사용할 수 있습니다. Zeta-388은 시스템을 환경 노이즈로부터 분리하고 나노단위 스텝 및 조도를 위한 측정 역량을 개선하기 위해 표준 음향차폐장치 옵션을 보유하고 있습니다.

스텝높이박막두께기준

Zeta-300은 VLSI 기준이 제공하는 얇고 두꺼운 박막의 NIST-추적가능한 스텝 높이 기준을 사용합니다. 표준사항은 크롬 코팅된 식각 쿼츠 스텝을 선보입니다. 8nm에서 250µm의 스텝 높이가 제공됩니다.

인증된 다단 기준은 8, 25, 50와 100µm의 공칭 스텝 높이를 보유하고 있습니다. 표준사항은 XY 교정을 위한 다양한 피치 패턴을 보유합니다. 기준 실리콘 표면과 공칭 270nm 산화 실리콘 박막 두께를 포함한 ZFT를 위한 인증된 박막 두께 표준이 제공됩니다. 기준 조도 및 거울 샘플도 제공됩니다.

자동 시퀀싱 소프트웨어

자동자동자동자동자동스테이지를하여사용자샘플상의위치를프로그램하도록합니다합니다합니다。이시스템부위자동측정하며정의에결과저장합니다합니다합니다。결과를위해통계를포함결과물가생성됩니다됩니다。

첨단 시퀀싱 소프트웨어는 샘플을 자동 정렬하는 패턴 인식을 포함합니다. 이를 통해 완전한 자동 측정이 가능해져서 작업자 오류로 인한 영향을 줄일 수 있습니다. 내장 기준을 스테이지에서 사용할 시에 자동 교정을 사용할 수 있습니다.

스티칭 소프트웨어

자동 이미지 스티칭 소프트웨어는 전동 XY 스테이지를 활용하여 단일 시야보다 큰 스티칭된 데이터 세트를 생성하기 위해 인접 스캔을 조합합니다. 시스템은 자동으로 모든 부분을 측정하고 이미지를 정렬하여 한 개의 데이터 세트로 조합합니다. 결과는 기타 결과 파일과 마찬가지로 분석 가능합니다.

Apex 분석 소프트웨어

Apex 분석 소프트웨어는 확장된 평준화, 필터링, 스텝 높이, 조도 및 표면 형상 분석 기법으로 툴의 표준 데이터 분석 역량을 향상시킵니다. Apex는 ISO 조도 산출 방식과 더불어 ASME 등의 현지 기준을 지원합니다. 또한 Apex는 텍스트, 주석과 합/불 기준을 추가할 수 있는 역량을 통해 보고서 작성 플랫폼으로도 사용할 수 있습니다. Apex는 8개 언어를 지원합니다.

오프라인 분석 소프트웨어

Zeta-300 오프라인 소프트웨어는 툴 상에 탑재된 레시피 생성 및 데이터 분석 역량을 동일하게 보유하고 있습니다. 이를 통해 사용자는 소중한 툴 시간을 희생하지 않고 데이터를 분석하며 레시피를 생성할 수 있습니다.