芯片制造是一个千锤百炼的过程。每一步都需要极高的精度和控制，以有效和快速地从裸硅到最终的功能芯片。我们的新“航行者”号^®1035激光扫描图形晶片检验员通过监控斜坡和批量生产的关键工艺步骤，帮助指导芯片制造。通过在线发现和标记关键缺陷，Voyager 1035检查器有助于确保工艺步骤保持在成功的芯片生产的道路上。

“航行者”号^®1035型激光扫描晶片检测系统

作为一种用于高级逻辑和内存芯片制造的内联缺陷监测器，Voyager 1035提供了灵敏度、速度和拥有成本的最佳平衡。对于关键过程监控应用，Voyager 1035采用了独特的架构、深度学习算法和几种先进技术，以高吞吐量产生行业最佳的激光扫描灵敏度。这确保晶圆厂工程师及时收到可采取措施的缺陷数据，以采取必要的纠正措施，以保持芯片生产的跟踪。

DefectWise^®深度学习技术使其能够快速、容易地分离利益和妨害的真实缺陷，同时提高对DOI的敏感性

航海家1035的标志性特征是“缺陷”^®深度学习技术。DefectWise提供快速、内联的分离感兴趣的缺陷从模式噪声和讨厌的缺陷，从而提高灵敏度和提高关键缺陷的捕获率。通过产生准确的缺陷分类结果，DefectWise减少了工厂工程师理解和纠正工艺偏差所需的时间。

旅行者1035驱动灵敏度和生产率的其他关键特性包括:

• 行业独特的倾斜照明和镜头外设计减少检查噪音，改善捕获缺陷
• 行业最大的整体立体角收集产生更多的信号到关键缺陷，同时也捕获信号从更多的缺陷类型
• 三个分离的通道使数据采集策略能够导致强信号噪声缺陷

• 新型传感器QE(量子效率)提高了30%，提高了通量和灵敏度，可用于EUV光刻的精细光刻剂的低剂量检测，如开发后检测(ADI)和光电池监测(PCM)
• 新的像素尺寸选项比上一代Voyager提高了>20%的分辨率，提高了对非常小的、与产量相关的缺陷类型的灵敏度

Voyager 1035 -新的传感器技术与新的像素尺寸一起工作，以提高灵敏度和分辨率，从而提高微小间隙缺陷的捕获率。

有关Voyager 1035如何支持芯片制造之旅的更多信息，请访问产品页面。

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