今天，KLA公beplay体育下载2司宣布了我们的新Surfscan®SP7XP晶圆缺陷检测系统．我们的Surfscan检验员家族的新成员可以发现裸晶圆片和薄膜上最小的缺陷和缺陷，帮助半导体基板、设备、材料和芯片制造商达到生产最先进芯片所需的严格制造质量标准。这确保了你的电子设备中使用的芯片的功能和可靠性，这样你就可以继续远程连接，虚拟探索和无休止的发现。
KLA的多学科工程师团队开发了确保我们的Surfscan SP7的技术XP无图案晶圆检测系统解决了与先进半导体芯片集成相关的广泛挑战。无论行业面临的挑战是发现阻碍最新晶体管技术发展的缺陷，还是实现大批量生产过程监控所需的检测灵敏度和速度，Surfscan SP7都是如此XP有能力直面这些挑战。
最终的敏感性12.5nm检测模式的引入，加上新的低噪声传感器，为先进衬底、半导体设备或芯片制造的研发寻径提供了所需的最终检测灵敏度。
生产力更高的吞吐量现在可以用于用于大批量制造(HVM)的检测模式，增加小型设计节点和高端薄膜应用的半导体fab容量。
正常照明(NI)普通照明用于快速检测独特的缺陷，如嵌入变形、划痕、滑线、残留和材料对比度低的缺陷。
相位对比信道(PCC)使用正常或倾斜照明，新的相位对比通道捕获微弱散射的缺陷类型，如浅凸起和残留，提高了灵敏度。
基于图像的分类:(IBC)的Surfscan SP7XP将革命性的机器学习算法应用于缺陷图像，对缺陷进行准确分类，从而加快找到根本原因的时间。IBC还有助于快速设置分类配方，同时提高分类准确度和纯度。
Z7™分类引擎通过使用扫描电子显微镜（SEM）将基板与扫描电子显微镜（SEM）进行成像，可以最小化基板的传统破坏性测量技术，并且通过推出新的Z7™多通道缺陷分类算法，可以最小化。这种创新的新分类引擎能够对3D NAND的嵌入式缺陷进行分类，以及其他厚膜监测应用程序，促进了偏移的故障排除和与内联监控更强大的相关性。
SurfServer®SurfServer配方管理系统促进配方的可移植性，并有助于简化车队管理。配方分发系统(RDS)特性允许用户创建配方，并将其同步到fab中的所有工具，从而实现更快的配方设置。
有关Surfscan SP7的更多信息XP无图案晶圆检测系统，检查产品页面,看到我们新闻稿，或访问我们的虚拟展位日本半导体！
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