集成电路衬底生产流程

集成电路衬底生产流程

基于数十年的经验,Orbotech的集成电路基片技术组合包括各种直接成像(DI)、自动光学检测(AOI)、缺陷自动光学整形(AOS)、紫外激光打孔、喷墨/增材打印和软件解决方案。Orbotech的先进IC基板解决方案使制造商能够为先进IC封装构建高容量、高质量、高精度互连产品,同时优化其生产率和成本效率。

典范

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直接成像系统

Orbotech的Paragon™超直接成像(DI)系列解决方案是专门为处理最具挑战性的倒装芯片球栅阵列(FCBGA)、倒装芯片规模封装(FCCSP)、球栅阵列/芯片规模封装(BGA/CSP)和模块应用而设计的。使制造商能够获得更高的产量,并降低其总拥有成本(TCO)。在Orbotech独特技术的驱动下,Paragon Ultra解决方案提供了无与伦比的结果,包括8 μ m的细线成像、高通量和优越的配准精度。这些经过现场验证的系统支持半加性工艺(SAP)、改良半加性工艺(mSAP)和其他创新型基材工艺。

应用程序

耐蚀阻和板阻倒装芯片球栅阵列(FCBGA)、倒装芯片规模封装(FCCSP)、球栅阵列/芯片规模封装(BGA/CSP)的细线直接成像

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超维900

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超维900

自动光学检测系统

专为满足AOI对IC衬底制造的高要求、高精度要求而设计,Orbotech的Ultra Dimension™900自动光学检测解决方案利用现场检验和测量能力,通过5μm的超精细图形检测,提供卓越的激光通过(LV)检测精度和操作效率。该解决方案为先进的PCB工艺制造商提供了检测各种应用和材料的灵活性。在独特的专有技术的驱动下,Ultra Dimension 900系统能够将三个通道的图像集成到一个单一的多色图像中,使操作人员能够在一秒钟内准确区分真假缺陷。

应用程序

倒装芯片球栅阵列(FCBGA)和倒装芯片规模封装(FCCSP) IC衬底的精细图案检测

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超公司产品名称

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自动光学整形(AOS)系统

Orbotech的Ultra PerFix™系列自动光学整形(AOS)解决方案为最先进的IC基板的短缺陷提供最高质量的整形。Ultra PerFix解决方案通过在可能被废弃的面板上精确地塑造复杂或细小的缺陷,使IC基板制造商能够显著提高其成品率,减少废料,确保高质量的板量。Ultra PerFix系列提供了一个易于操作、完全自动化的流程,具有高吞吐量,在低总拥有成本(TCO)的情况下大大节省了人力。

应用程序

倒装球栅阵列(FCBGA)和倒装芯片规模封装(FCCSP)芯片衬底短缺陷的自动光学整形

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翡翠华氏160度

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翡翠华氏160度

紫外激光钻井系统

Orbotech的Emerald™160F解决方案代表了先进的紫外激光钻孔能力的新水平,适用于当今最具挑战性的IC基板应用,提供最大的性能和产量。祖母绿160F系统具有优良的光束质量,μm直径可达20 μm,精度可达6μm,是专为先进IC衬底应用而设计的,如倒装芯片球栅阵列(FCBGA)。Orbotech的Emerald 160F系统经过优化,以支持先进的封装应用,如有机中间体和嵌入式模具以及低温共烧陶瓷(LTCC)。

应用程序

紫外激光在倒装芯片球栅阵列(FCBGA)衬底、嵌入式模具和低温共烧陶瓷(LTCC)上钻盲孔(BV)和通孔(THV)

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Orbotech麦格纳和Orbotech Jetext

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喷墨印刷/添加剂系统

Orbotech的喷墨和增材印刷解决方案为IC基材提供高质量、高精度和高生产率的印刷,并以较低的总拥有成本(TCO)。

Orbotech麦格纳™添加剂印刷解决方案设计打印大坝倒装芯片芯片规模包(FCCSP),球栅阵列(BGA)封装(SiP)和先进的系统模块,使制造商能够节省空间和成本,防止未充满渗漏形成一层保护屏障封锁了周围的死亡区域。Orbotech Magna解决方案还支持选择性绝缘层印刷,如可路由的四平面无铅封装(QFN), IC基片等。这消除了昂贵的光刻步骤,简化了传统工艺并降低了运营成本,使新产品能够更快地进入市场。

Orbotech Jetext™喷墨打印解决方案为图例和2D条码包装标记提供了安全、智能cam准备(计算机辅助制造)的替代方案,消除了热或接触造成的损坏风险。它提供了精确和均匀的材料沉积在最具挑战性的不均匀表面,精确的模式对齐和高速,高对比度,精细的特征打印。

应用程序

欧博泰克Magna:用于倒装芯片规模封装(FCCSP)、球栅阵列(BGA)和先进的包内系统(SiP)模块以及选择性绝缘层打印,如可路由的四平面无铅封装(QFN)、集成电路基片等

Orbotech Jetext:图例和2D条码包装标记

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