产品描述
Tencor P-17是第八代台式触控笔轮廓仪，建立在超过40年的表面测量经验。这一行业领先的系统支持2D和3D台阶高度测量，粗糙度，弓，和应力扫描高达200mm不缝合。
卓越的测量稳定性与UltraLite的结合®传感器，恒力控制和超平扫描阶段。配方设置快速且轻松，点击级控件，顶部和侧视光学和带光学变焦的高分辨率摄像头。Tencor P-17触控笔轮廓仪支持2D或3D测量，具有各种滤波，调平和分析算法来量化表面形貌。通过模式识别，测序和特征检测实现全自动测量。
特征
- 步高：纳米至1000μm
- 低力恒力控制:0.03至50mg
- 扫描样品的全直径而不缝合
- 视频:5MP高清彩色摄像机
- 弧线校正:去除触笔的弧线运动所造成的误差
- 软件:易于使用的软件界面
- 生产能力:全自动测序、模式识别、SECS/GEM
应用程序
- 台阶高度:2D和3D台阶高度
- 纹理:2D和3D粗糙度和波纹
- 形式：2D和3D弓形和形状
- 压力：2D和3D薄膜应力
- 缺陷综述：2D和3D缺陷表面地形
行业
- 大学、研究实验室和研究所
- 半导体及化合物半导体
- LED：发光二极管
- 太阳能
- MEMS：微机电系统
- 数据存储
- 汽车
- 医疗设备
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